Occasion ASM A600 UHV-CP #9239202 à vendre en France

ASM A600 UHV-CP est un four de diffusion et un équipement accessoire qui fournit des procédés de recuit à haute température, de recuit à gaz réactif et de recuit à vide pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour des applications incluant, sans s'y limiter, le dépôt, le recuit, ainsi que la gravure et l'implantation ionique. Le système se compose d'un four de diffusion à haute température comme partie principale, ainsi que d'une unité de distribution de gaz multi-zones, et d'un port d'accès pour le chargement et le déchargement des plaquettes, d'une pompe à vide, d'une jauge de vide et d'un spectromètre de masse thermique. Le four de diffusion est chauffé par un four électrique à vide ultra-élevé. Ce four électrique dispose d'une zone de température uniforme pour assurer une température constante sur l'ensemble de la plaquette, avec un profil de température réglable dans jusqu'à quatre zones de gaz distinctes et deux zones de chauffage indépendantes. Il contient également un contrôleur programmable qui peut stocker jusqu'à 32 recettes avec différentes températures et débits de gaz. Le four peut atteindre des températures allant jusqu'à 1900 ° C dans la zone horizontale. La machine à gaz multi-zones comprend de l'azote, de l'hydrogène, de l'ammoniac, de l'argon et des gaz porteurs. L'azote peut être utilisé pour maintenir une adresse de test sans oxygène élevée et pour améliorer la qualité de l'oxyde. L'hydrogène et l'ammoniac peuvent être utilisés dans une grande variété d'applications de dopage standard. Argon est utilisé pour réduire les défauts d'oxyde. Et les gaz vecteurs peuvent être utilisés pour contrôler le ton et la vitesse des espèces réactives. La pompe à vide de l'outil est constituée d'une chambre de fuite sous vide avec pompe à piston rotatif et cryopump. La pompe à piston rotatif peut fournir jusqu'à 25 mTorr de vide pour des applications de diffusion de courte durée. La cryopump a une capacité maximale de 10-8 Torr, ce qui en fait un outil idéal pour les procédés réactifs de recuit des gaz. L'actif comprend également un spectromètre de masse thermique qui est utilisé pour mesurer les gaz résiduels dans le four. Cela garantit un environnement de four propre et pur requis pour des performances optimales de l'appareil et du procédé. Enfin, le modèle est équipé d'un accessoire qui est utilisé pour le chargement et le déchargement des plaquettes et des porte-plaquettes. Il est conçu pour une répétabilité maximale et permet un échange facile de plaquettes pendant le traitement. En conclusion, A600 UHV-CP est un équipement haut de gamme de four et d'accessoires conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Avec son contrôle précis de la température et des débits de gaz, le système est capable de produire des résultats de wafer de qualité d'une manière sûre et fiable.