Occasion ASM A600 UHV-CP #9249519 à vendre en France

ASM A600 UHV-CP est un équipement de haut niveau et fiable conçu pour diverses applications dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système utilise un procédé de type PECVD pour l'oxydation in situ et la nitridation des plaquettes et autres substrats. L'unité dispose d'une chambre de procédé à vide élevé avec deux cellules électrostatiques d'effusion multi-poches, une source de plasma à haut courant et un matériel/logiciel automatisé et entièrement configurable de contrôle de processus. La machine a été développée spécifiquement pour l'uniformité et la reproductibilité du procédé d'oxydation thermique et de nitridation des plaquettes. L'outil est capable de produire un large spectre de films de qualité et excellent ont une excellente couverture d'étape donnant des produits reproductibles, précis et contrôlés. L'actif comprend également un modèle de chauffage de haute qualité, une configuration sous vide ultra-haute de 10-8Torr pression de base, une large gamme de pression de processus allant de 10E-7 à 10E-3Torr. La haute qualité de l'équipement permet un contrôle précis des propriétés d'oxydation et de nitridation des plaquettes comme la température de surface des plaquettes, la concentration et la stabilité, le temps de traitement et l'uniformité. Le système est équipé d'une cellule d'effusion électrostatique à poches multiples, d'un automate, d'un régulateur de température, d'une source de plasma à haut courant et d'autres accessoires, tels qu'un cryo-doigt, une pince et un panneau de gaz, pour faciliter la réalisation de diverses expériences de processus. L'unité comprend un ventilateur d'échappement à haute vitesse pour l'évacuation rapide des déchets gazeux et particulaires créés lors des opérations de traitement. La machine comporte également un certain nombre de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'outil en fonctionnement, tels qu'un interrupteur d'isolement (en série) pour la protection contre les fluctuations de tension. L'atout est également conçu pour faciliter la flexibilité de son utilisation, car il peut être utilisé pour diverses exigences de procédés, tels que l'oxydation thermique, la nitridation et les procédés de silicisation. Le modèle peut accueillir une large gamme de tailles de plaquettes (5-12 pouces) pour une oxydation thermique efficace et uniforme et la nitridation des plaquettes de silicium et d'autres substrats. A600 L'équipement UHV-CP est idéal pour diverses applications de procédé telles que l'oxydation des plaquettes semi-conductrices, la nitridation, la silicisation et d'autres composants électroniques et optoélectroniques de haute qualité. Ce système de haute qualité, doté d'une fiabilité et d'une compatibilité exceptionnelles, est l'un des favoris des utilisateurs professionnels.