Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / MKS DPS II AE Minos #9399337 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS/MKS DPS II AE Minos est un équipement de pointe de graveur/asher qui est couramment utilisé pour créer des structures de haute précision à partir de divers substrats. Il est capable de graver et d'aspirer avec un degré élevé de précision et de précision en utilisant une source avancée de plasma à couplage inductif pulsé à basse pression à plusieurs chambres. Le système est capable de graver de petites caractéristiques jusqu'à 2 μ m et utilise un procédé avancé de gravure-remplissage ionisé à haute vitesse pour assurer la plus grande précision possible. MKS DPS II AE Minos dispose d'une chambre de traitement configurable, d'un grand port de vue et d'un ensemble de traverses RF pour assurer une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. La source de plasma à couplage inductif (PCI) de l'unité utilise une opération impulsionnelle à basse pression pour optimiser les paramètres de gravure tout en minimisant les plasmas et sous-produits dangereux. La source ICP haute RL est capable de gravures plasma jusqu'à 2 μ m - offrant une précision et une précision de pointe. AMAT DPS II AE Minos fournit également un procédé unique de gravure-remplissage par plasma inductif (ICP). Ce processus optimise les paramètres de gravure pour fournir un profil de gravure RL élevé et des contrôles de fonctionnalités précis. Le processus de gravure-remplissage assure l'uniformité et la cohérence sur la surface de la plaquette pendant le processus de gravure. En outre, cette machine offre un logiciel convivial, fiable et polyvalent pour contrôler le processus avec facilité. Ce progiciel comprend le DPS 2.0 Process Control Tool, qui comprend le développement et le contrôle des recettes, le diagnostic et l'état du matériel de la machine, ainsi que la surveillance des performances et les fonctions de rapport. Cet atout est également soutenu par le modèle mondial de service et de support MKS. Enfin, APPLIED MATERIALS DPS II AE Minos offre une gamme de capacités de manutention et de transfert de plaquettes polyvalentes. Cet équipement est conçu pour traiter les plaquettes 6 ", 8" et 12 "au sein d'un système de transfert unique, permettant une flexibilité ultime et la commodité en période de changement des exigences. En conclusion, DPS II AE Minos est une unité de graveur/asher avancée qui est capable de traiter des plaquettes avec un degré élevé de précision et de précision. Cette machine est entièrement équipée et intègre un logiciel convivial pour le contrôle et l'optimisation des processus, tout en offrant une gamme de capacités de manutention et de transfert de plaquettes polyvalentes.
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