Occasion GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS 9102 est un équipement de graveur/asher conçu pour des applications de micro-fabrication et de nanofabrication. Cette machine est utilisée pour la gravure de couches minces et la pulvérisation de matériaux pour créer des caractéristiques à petite échelle sur un substrat. GASONICS 9102 est équipé de deux lasers haute puissance KrF capables de graver 25nm sur des substrats jusqu'à 4 pouces de diamètre. De plus, NOVELLUS 9102 est équipé de 4 vecteurs cryogéniques et de 4 sources de gravure/pulvérisation. 9102 est hautement automatisé et dispose d'une interface utilisateur graphique (UI) facile à utiliser qui permet aux utilisateurs de configurer rapidement leur processus de gravure. GASONICS/NOVELLUS 9102 a plusieurs fonctions de contrôle de processus, dont la surveillance optique, la pression, la température, et d'autres. Le système est également équipé de capacités de redémarrage automatique et d'une unité de contrôle thermique dynamique. GASONICS 9102 est disponible avec une variété de chambres de processus, y compris chambre unique, chambre double, et chambre à module unique avec une grande chambre de serrure de charge. Des systèmes plus complexes sont disponibles avec plusieurs chambres et de grandes tailles de chambre. NOVELLUS 9102 est capable de graver/pulvériser à une vitesse exceptionnellement élevée, ce qui est particulièrement intéressant pour les applications à haut volume. 9102 fonctionne bien avec divers substrats, notamment les métaux, les semi-conducteurs, les verres, les alliages, la céramique et les matériaux organiques. En outre, le logiciel GUI basé sur Windows permet la surveillance et l'optimisation des processus en temps réel pour une efficacité de production maximale. GASONICS/NOVELLUS 9102 a une précision d'épaisseur de couche de 0,5 % ou mieux et une répétabilité de 0,3 %. En résumé, GASONICS 9102 etcher/asher est une machine polyvalente qui combine vitesse et précision pour permettre une micro- et nano-fabrication de haute précision. Son laser haute puissance et son outil de contrôle thermique dynamique en font un outil fiable dans le processus de production. NOVELLUS 9102 est facile à utiliser avec son interface graphique conviviale et est compatible avec une grande variété de substrats.