Occasion LAM RESEARCH 2300 #9377279 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2300 est un équipement de graveur/asher conçu pour le traitement des wafer applications. Il est capable de graver, enlever et déposer le matériel des plaquettes de tailles variées. Le système 2300 est conçu pour un débit élevé, une précision répétable et un faible coût de possession. LAM RESEARCH 2300 graveur/asher peut manipuler des tailles de plaquettes de 55mm à 200mm. Il est capable de déposer et de graver des matériaux avec un large éventail de taux de gravure, y compris, mais sans s'y limiter, le silicium polycristallin, les polyimides, les oxydes, les nitrures et les métaux. Il a également une capacité de gravure de précision qui aide à créer des fonctionnalités de haute qualité avec un contrôle de processus serré. En termes de caractéristiques, l'unité est équipée d'une chambre de gravure à vide multizone, de systèmes de purge de l'azote et de l'hélium, d'une pompe cryogénique pour fournir un débit de gaz de gravure très précis, d'une source d'ions pour la gravure et d'une machine de transport de substrat à grande vitesse. L'outil comprend également un atout diagnostique in situ qui permet l'optimisation des processus. L'uniformité de gravure de 2300 est très répétable lors du traitement de plaquettes de tailles, d'épaisseurs et de matériaux similaires. Ses capacités de dépôt de films sous vide le rendent également apte à un dépôt semi-sélectif de matériaux. De plus, le modèle est conçu pour offrir un environnement de travail sûr aux opérateurs, avec des caractéristiques de sécurité supplémentaires telles qu'un équipement de capteur qui va automatiquement arrêter le système si des conditions dangereuses sont détectées. L'unité dispose également d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement les paramètres du processus et d'autres paramètres. L'interface graphique permet également aux utilisateurs de télécharger des recettes personnalisées pour accélérer le processus de gravure. LAM RESEARCH 2300 etcher/asher est aussi fiable et bien supporté que toute autre machine du même fournisseur haut de gamme. Sa facilité d'utilisation et sa capacité de gravure précise en font un choix privilégié pour de nombreuses applications de traitement des plaquettes.
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