Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235071 à vendre en France
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ID: 9235071
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
CVD System, 12"
2004 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un équipement de pointe multi-fonctionnel de graveur-asher conçu pour graver et modeler différents matériaux avec précision et efficacité. Le système utilise une combinaison de composants matériels et logiciels pour contrôler le traitement et maintenir les paramètres de processus désirés. Le matériel se compose d'un ordinateur central, de postes de travail, d'alimentations électriques, de moniteurs programmables d'alimentation en air, de régulateurs de vide et de gaz, d'une source à vide ultra-élevé et de plusieurs chambres de traitement. La suite logicielle permet aux utilisateurs de développer un ensemble d'instructions pour contrôler le traitement et peaufiner le processus de gravure. NOVELLUS Vector utilise la technologie de gravure par faisceau d'ions réactif, qui est une méthode de gravure où un faisceau d'ions est utilisé pour vaporiser des molécules du matériau cible. Les ions du faisceau sont accélérés vers la cible, où ils sont absorbés à sa surface puis relâchés dans l'environnement gazeux de la chambre de gravure. Les ions réactifs dans le gaz réagissent avec le matériau, ce qui conduit au motif ou à la forme souhaité à partir du matériau cible. L'unité de contrôle permet aux utilisateurs de définir des paramètres de processus spécifiques, tels que le débit de gaz, la pression et la température, qui se traduiront par la profondeur et la largeur de gravure nécessaires. Lors de la gravure de motifs haute résolution sur des matériaux, LAM RESEARCH Vector machine utilise une chambre de lithographie, où un motif ou masque est placé sur le substrat et exposé à un laser de haute puissance. Le déplacement du substrat sous le laser se fait selon un schéma précis, qui est déterminé par les instructions de programme de l'outil de commande. Une fois le motif exposé, le procédé de gravure plasma réactif est utilisé pour graver les zones non protégées du substrat. Les actifs vectoriels peuvent graver des substrats avec des résolutions x-y allant jusqu'à 50 nanomètres ou plus, selon les caractéristiques du matériau et du substrat. Le modèle LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector dispose de multiples caractéristiques de sécurité pour aider à protéger les opérateurs et ceux qui se trouvent à proximité immédiate de l'équipement. Cela comprend un boîtier de protection autour de l'équipement, des alarmes et des dispositifs de sécurité qui arrêteront le processus si des conditions en dehors des limites de sécurité sont détectées. NOVELLUS Vector est un système fiable qui a fait ses preuves pour diverses applications, de la métallisation de couche supérieure aux structures 3D. C'est un choix efficace et rentable pour la gravure et le traitement des matériaux pour de nombreuses industries.
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