Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161 à vendre en France
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ID: 9235161
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12"
2006 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un outil de gravure/ashing (ou équipement de planarisation mécanique chimique (CMP)) utilisé pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour des performances de haut débit avec une large gamme de modules de processus qui peuvent être facilement intégrés dans une ligne de production. NOVELLUS Vector dispose d'un processus en deux étapes. Dans la première étape, un comburant et un graveur sont utilisés pour enlever les couches supérieures de la plaquette. Dans la seconde, un plasma à haute densité (HDP) est utilisé pour graver la surface à une vitesse et une résolution beaucoup plus élevées que les procédés chimiques humides classiques. LAM RESEARCH Le système vectoriel est conçu pour optimiser au maximum l'efficacité du processus et le temps de disponibilité. Il dispose d'un processeur linéaire qui peut diminuer les effets négatifs sur la performance et la vitesse du processus. Il est capable de contrôler les conditions de processus avec des paramètres réglables, ce qui permet une plus grande flexibilité dans les paramètres de processus. Vector dispose également d'un boîtier unique qui fournit un environnement de processus plus propre, permettant des résultats de fidélité plus élevés. En outre, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector utilise une seule approche de wafer, ce qui élimine le besoin de traitement par lots. Les capacités de mesure et de contrôle de pointe de NOVELLUS Vector sont également impressionnantes. Il dispose d'un moniteur de processus en deux étapes qui améliore le contrôle du processus et la stabilité du processus lors de la gravure de différentes couches. Il comprend également un alignement automatisé avancé pour assurer l'uniformité de la plaquette. De plus, LAM RESEARCH Vector est livré avec un analyseur automatisé, qui peut surveiller le processus de gravure et fournir une rétroaction pour l'optimisation des processus. Dans l'ensemble, Vector est une machine de gravure/cueillette avancée conçue pour des performances de débit élevées. Sa conception innovante permet un maximum d'efficacité et de disponibilité du processus, ainsi que des capacités de mesure et de contrôle avancées. C'est un outil idéal pour l'industrie des semi-conducteurs et peut fournir un avantage concurrentiel à toute installation de traitement de plaquettes.
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