Occasion SAMCO RIE-300NR #9234636 à vendre en France
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SAMCO RIE-300NR est un équipement de gravure et d'ashing conçu pour la production de circuits intégrés (IC), la micro-électronique et les applications connexes. Le système offre une gravure chimique fiable et précise et des cendres de divers substrats. SAMCO RIE 300 NR peut accueillir une gamme de plaquettes de 4 « à 12 » (100mm à 300mm) dans sa chambre de gravure et de cendrage de style cassette. Cela est facilité par la combinaison d'un étage flottant et d'une commande automatisée de la vanne. L'environnement de la chambre est contrôlé par un débitmètre intégré, qui est spécifiquement conçu pour ajuster avec précision le débit de gaz. RIE 300 NR peut gérer une large gamme de conditions de gravure et d'ashing. Il a été testé pour la gravure et la cueillette de l'aluminium, du tungstène, du silicium polycristallin, du quartz et d'autres matériaux semi-conducteurs à l'aide de gaz tels que CF4, SF6, NF3, CDA et oxygène. La machine a été conçue pour fonctionner à des températures élevées allant jusqu'à 660 ° C ainsi qu'à des températures inférieures à zéro allant jusqu'à -100 ° C Cela est facilité par la capacité de refroidissement intégrée de l'outil grâce à l'azote liquide. SAMCO RIE-300NR est équipé d'un outil de contrôle logiciel avancé, conçu pour assurer un contrôle optimal de la gravure/cendre. Cela permet un contrôle automatisé de la recette intégré dans le modèle, ce qui rend les processus de gravure et de cueillette plus efficaces et précis. Cet équipement de contrôle logiciel avancé permet également de programmer des volets pour répondre aux normes de propreté. En outre, SAMCO RIE 300 NR dispose d'une pompe à vide intégrée et d'un système d'évacuation, conçu pour assurer une atmosphère propre de la chambre de processus. Cette unité serait capable d'atteindre des niveaux de vide inférieurs à 10-6 Torr. Cela assure des opérations continues sans contamination. La machine est construite à partir de composants de qualité industrielle, conçus pour gérer les conditions rigoureuses des processus de gravure et de cueillette en laboratoire. RIE-300NR dispose également d'un large éventail de dispositifs de sécurité surveillés, conçus pour assurer la sécurité de l'utilisateur et de l'environnement. L'outil de gravure et d'ashing RIE 300 NR est une solution de gravure et d'ashing fiable et précise pour la production de circuits intégrés. Il est capable de gérer un large éventail de conditions de gravure et d'ashing, ainsi que d'offrir un contrôle logiciel automatisé et des niveaux de vide de 10-6 Torr. Avec ses composants de qualité industrielle et ses caractéristiques de sécurité, SAMCO RIE-300NR fournit une solution de gravure et de cendrage fiable et sûre pour les applications en laboratoire.
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