Occasion SAMCO RIE-300NR #9249082 à vendre en France
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SAMCO RIE-300NR est un etcher ionique réactif (RIE) de haute performance. Cet outil de gravure et de cendrage avancé est situé dans une enceinte étanche et étanche et est conçu pour modeler avec précision des matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et l'aluminium avec une précision allant jusqu'à 0,1 micron. Il dispose également d'un équipement de nettoyage des vapeurs d'acide fluorhydrique, d'un système de contrôle de pression automatisé et d'un mode de dérivation à sec pour réduire les temps d'arrêt. SAMCO RIE 300 NR offre le meilleur des deux mondes en combinant gravure et cendre en une seule unité. Il dispose d'une grande taille de chambre qui est capable de manipuler des substrats jusqu'à 10 "de diamètre. RIE-300NR dispose également d'une variété de configurations de maintien de chambres et de plaquettes pour répondre aux différentes exigences du projet. Sa machine à gaz Poly-Freon de haute pureté permet de maintenir un débit élevé et des taux de gravure constants sur un large éventail de processus. Le RIE 300 NR est un choix idéal pour produire des caractéristiques petites et complexes en raison de ses systèmes de contrôle plasma avancés et de ses capacités d'ellipsomètre. SAMCO RIE-300NR peut aider à atteindre un large éventail de paramètres de processus à l'aide de sa détection in situ des points d'extrémité, de son générateur de radiofréquence et de sa chambre à couplage capacitif. En outre, le port d'échappement intégré de SAMCO RIE 300 NR donne aux utilisateurs la liberté d'effectuer un traitement déséquilibré à l'intérieur de la chambre sans se dégager des forces plasmatiques ou Coriolis. RIE-300NR est un choix idéal pour la réparation de photomasques et les applications de nettoyage de gravure arrière de plaquettes. Ce graveur et asher avancé est parfait pour le traitement de tous les types de matériaux, y compris le silicium, l'arséniure de gallium et l'aluminium. Il est également capable de graver des profils d'angle de biseau et de profil en contre-dépouille avec une précision allant jusqu'à 0,1 microns. La RIE 300 NR offre le plus haut niveau de performance avec son outil de contrôle de pression automatisé et son mode de contournement à sec pour réduire les temps d'arrêt.
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