Occasion SAMCO RIE-300NR #9402475 à vendre en France

SAMCO RIE-300NR est un Ion Etcher réactif (RIE) fiable conçu pour la gravure d'une grande variété de substrats, dont le quartz, le silicium, la céramique, les métaux et les polymères. Il offre une excellente stabilité du procédé, répétabilité et uniformité. SAMCO RIE 300 NR est capable de graver des caractéristiques jusqu'à 0.2um dans une variété de matériaux. Cela le rend adapté aux applications de gravure de précision, telles que la microélectronique, l'optoélectronique et le MEMS. RIE-300NR est équipé d'une petite console à faible encombrement et est supporté par une grande plate-forme. Il comprend jusqu'à cinq chambres de processus avec différents types de cellules, telles que des barils à haut débit, des chambres de guidage d'ondes et des cellules linéaires. Il dispose également d'un certain nombre de capacités avancées, y compris le fonctionnement à haute température, le contrôle de la pression/débit, le séquençage automatisé des processus, et une large gamme d'options de refroidissement/purge. RIE 300 NR offre également un certain nombre de fonctionnalités avancées, telles que la surveillance de processus haut de gamme, un panneau de contrôle d'écran tactile et un logiciel convivial propriétaire, des recettes programmables et le partage de recettes, une interface de navigateur Web, et un séquenceur de processus avancé. Cela permet aux utilisateurs de configurer la machine selon leurs besoins et d'assurer des scénarios de gravure fiables, reproductibles et cohérents. SAMCO RIE-300NR dispose d'une large gamme de gaz de process, offrant une flexibilité et un contrôle de process optimisé. Des gaz tels que Cl2, O2, Ar, BCl3, N2 et SF6 peuvent être utilisés dans divers réglages de débit et de pression pour optimiser les résultats des gravures. Le système de distribution de gaz est capable d'assurer la meilleure précision et le meilleur contrôle avec un minimum de temps d'arrêt. SAMCO RIE 300 NR est également disponible avec une pompe à vide en option qui peut être utilisée pour réduire la tension de claquage lors de la gravure de couches minces. Cela le rend adapté aux applications en couches minces et assure des résultats de gravure fiables et reproductibles. RIE-300NR est l'outil parfait pour l'application de gravure pour une variété de matériaux, y compris les semi-conducteurs, la céramique, le verre et les polymères. Il offre un contrôle de processus supérieur, un fonctionnement fiable et une répétabilité exceptionnelle, et est idéal pour la recherche de précision et les applications d'ingénierie.