Occasion SEZ / LAM RESEARCH 300 #9211251 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH 300
ID: 9211251
Single wafer etcher.
SEZ/LAM RESEARCH 300 est un graveur sec sans compromis (aussi appelé asher). Conçu pour la précision et la vitesse, il est capable d'effectuer une gravure rapide et de haute précision des métaux et des matériaux isolants sur une grande variété de substrats. Ce modèle haut de gamme est conçu pour le traitement à haut débit pour la taille complète des plaquettes (jusqu'à 12 pouces) pour la plupart des métaux et des matériaux isolants. Ce système est conçu pour assurer la cohérence et la répétabilité des processus. SEZ 300 est livré avec une console de contrôle avancée avec contrôle des paramètres de processus en temps réel. Il dispose également de diverses options pour l'automatisation et les fonctions d'enregistrement qui aident à faire des comparaisons temporelles. Il permet également aux utilisateurs de concevoir leurs propres recettes à appliquer pour leurs propres processus de gravure. Le cœur de SEZ/LAMLAM RESEARCH 300 est son revêtement extérieur scellé, positionné - une combinaison avancée de silicones, de plastiques et de céramiques qui est conçu pour garder l'unité libre de poussière et de contaminants, et renforce son armure anti-corrosion pour protéger les composants intérieurs contre les menaces corrosives. Le graveur dispose d'une chambre à plasma avec une transition optimisée de la petite source de plasma à la zone de traitement maximise l'efficacité de gravure. 300 est également livré avec un système de chargement mur-tuyau à froid avec porte de sécurité verrouillée sous vide, et un environnement fermé de traitement des particules faibles. La chambre de procédé est conçue de façon ergonomique pour s'adapter aux différents taux de gravure et niveaux de pression en fonction des besoins du client. Il est conçu pour être utilisé avec des substrats monobloc et par lots. La chambre est superactive et peut être chargée et déchargée en secondes pour améliorer le débit et la répétabilité. Comme graveur, SEZ/LAM RESEARCH 300 propose des stratégies comme la gravure par étapes et la gravure ionique réactive. En complément de ses capacités de gravure, le SEZ 300 propose également des services supplémentaires tels que la superposition, le planage, le clouage et le backlapping. LAM RESEARCH 300 présente également une variété de paramètres de processus pour ajuster le dépôt, la contrainte, la vitesse, la température et la rugosité de surface pour des conditions optimales pour différents matériaux. En conclusion, 300 est un graveur/asher haut de gamme conçu pour un traitement à haut débit avec un temps d'arrêt minimal. C'est un outil fiable, précis et reproductible conçu pour la gravure précise de la plupart des métaux et des matériaux isolants sur une variété de substrats rapidement et avec précision. Ses fonctionnalités avancées, ses capacités d'automatisation et sa conception ergonomique en font l'outil parfait pour les applications les plus exigeantes.
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