Occasion SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9387804
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Spin etcher, 8"
With spare parts
Single wafer wet chemical spin processor
Manual loading and unloading wafers
Graphical User Interface (GUI)
Single process chemical tank
With filter housing and fully automated
Chemical temperature controlling
With heat exchanger
(16) Process steps
PC Controller
Does not include cassette option
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 13 A
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH MCM 203 est un équipement de gravure/cueillette avancé capable de produire simultanément des résultats de haute précision, précis et reproductibles. Le système est conçu pour répondre aux besoins des fabricants de circuits intégrés (IC) en fournissant une solution rentable pour les processus de gravure/ashing. L'unité est disponible dans une petite empreinte de 1630 x 580mm et dispose d'une taille de plaque standard et maximale de 425 x 425mm. La SEZ MCM 203 utilise une machine spéciale multi-chimique-mécanique abrasive pour graver et modeler des circuits intégrés, avec un procédé en trois étapes utilisant une action abrasive et un lavage mécanique pour façonner la couche de matériau. L'uniformité de l'outil sur toute la surface de la plaque est assurée grâce à la commande de contact précise, à des réglages de faible puissance et à une accélération contrôlée entraînant des débits et des rendements plus élevés. L'actif est équipé d'un modèle à impulsions plasmatiques ALD/CVD résistant à la corrosion pour la gravure en couches minces et l'ashing des photorésistants, tandis que LAM RESEARCH MCM 203 offre également la possibilité de nettoyer les plaquettes. L'équipement fonctionne dans un vide aussi bas que 6 mbar, accélérant jusqu'à 500 m/s avec une température de cuisson contrôlable par contamination. Le MCM 203 est conçu avec un système générateur RF refroidi par air 9KW qui permet une imagerie rapide et répétable des plaquettes sur une variété de substrats. SEZ/LAM RESEARCH MCM 203 est un graveur/asher haut de gamme conçu pour répondre aux exigences de production à haut volume. L'unité comprend des dispositifs de sécurité robustes tels que des extincteurs automatisés, une machine d'alarme et des embrayages. Il est en outre construit avec des matériaux de première qualité, y compris l'acier inoxydable, le cuivre argenté, et les panneaux époxy phénoliques. L'outil est entièrement supporté par des techniciens compétents qui peuvent fournir des conseils d'exploitation et de dépannage en cas de panne.
Il n'y a pas encore de critiques