Occasion SHIBAURA CDE 80 #9085091 à vendre en France

SHIBAURA CDE 80 est un graveur/asher haute performance, utilisé pour diverses applications d'élimination de substrat. Ce dispositif est capable d'enlever des couches natives ou d'oxyde, de déposer des couches minces et de fixer des substrats avec une grande précision. La machine est équipée d'un composant qualifié tel qu'un contrôleur de gravure EDP 3, une chambre de gravure RIE, un générateur RF à tube de quartz, un plateau support et une plaque vitrée. L'unité de contrôle sophistiquée permet des opérations de gravure complexes pour les fonctions isolées et groupées. La chambre RIE contrôlée par EPD 3 a été conçue pour produire des densités de plasma élevées avec une excellente uniformité pour un traitement cohérent des substrats de milieu de zone. De plus, le générateur RF est capable de créer des températures allant jusqu'à 1 400 ° C, permettant la gravure des oxydes et des nitrures. Une plaque de fenêtre indépendante est prévue pour être utilisée avec le tube à quartz, permettant d'observer le processus de gravure pendant le fonctionnement. SHIBAURA CDE-80 peut être personnalisé avec plusieurs options ou consommables, comme une gamme complète de fournitures de gaz et une sélection de sources. Des refroidisseurs internes et externes peuvent être spécifiés pour le refroidissement du système ou du substrat lors des opérations de gravure. En outre, une entrée ECR externe peut être fournie pour améliorer encore les opérations de gravure. Le CDE 80 peut réaliser une gamme impressionnante de routines de gravure de substrat avancées, ce qui en fait un excellent choix pour le prototypage, la production de composants et la recherche. L'équipement est fiable, précis et efficace, offrant aux utilisateurs un haut niveau de contrôle et de précision sur l'ensemble du processus. Ce système de gravure avancé est parfait pour produire des substrats qui nécessitent des caractéristiques de gravure étroitement contrôlées ou pour les utilisateurs recherchant des rendements de production élevés.