Occasion STS / CPX Multiplex #293601086 à vendre en France
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ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX Multiplex est un graveur/asher qui est un système d'équipement commandé par ordinateur pour la gravure précise et l'ashing de divers types de matériaux dans l'industrie des semi-conducteurs. Il se compose de deux composantes principales : la station de transfert de substrat (STS) et le procédé de gravure par plasma assisté par ordinateur (CPX). STS/CPX est un dispositif utilisé pour déplacer en toute sécurité les plaquettes du port de chargement/déchargement vers les chambres asher/etcher. STS se compose d'un ensemble de bras électromécaniques, d'un module de transport sécurisé et d'un ensemble de changeurs d'outils. Les bras sont conçus pour fixer une plaquette en la serrant à l'aide de mouvements précis pour assurer un alignement précis de la plaquette à l'intérieur de la machine. L'ensemble du changeur d'outil est chargé de changer les pièces ou composants nécessaires au cours du processus de gravure et de cueillette. CPX est un système de gravure et de cueillette commandé par ordinateur qui fait partie de STS/CPX et permet un contrôle précis sur tous les aspects du processus de gravure et de cueillette. Cela inclut un contrôle précis de la température, de la pression, ainsi que du débit, de la puissance et du timing. STS est conçu pour fournir des résultats de gravure de haute qualité en utilisant une interface logicielle avancée pour optimiser et contrôler les paramètres de la gravure. STS Multiplex combine la précision d'un changeur d'outil CPX avec un procédé de gravure plasma assisté par ordinateur pour créer un graveur capable d'obtenir des résultats exceptionnels en gravure et en cendre. L'etcher est capable d'obtenir une répétabilité et une précision élevées pour une grande variété de matériaux et de procédés de substrat. Il a également la capacité d'être facilement reconfiguré pour répondre aux besoins spécifiques des applications, ce qui en fait un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'obtenir des résultats de gravure fiables, précis et reproductibles.
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