Occasion STS / CPX Multiplex #9206283 à vendre en France
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ID: 9206283
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
Vacuum load-lock: Manual
Load-lock / Process chamber: Automatic transfer
Loader substrates: Up to 200 mm diameter
Chuck: 100 mm diameter
Load lock: MK4 Single wafer load lock
Dual frequency:
High frequency PECVD
Low frequency PECVD
RF Generator: 187.5 kHz, 375kHz
Remote gas box
Computer
Monitor
Keyboard
Operating system: Windows 2000
Affinity chiller
EDWARDS IH600 Vacuum pump: Chamber
VARIAN SH-100 Vacuum pump: Load lock
Operation manuals
Electrical drawings
Auxiliary equipment manuals
Deposit silicon dioxide (SiO2)
Silicon nitride (Si3N4)
Silicon carbide (SiC)
Gas box (Process gases):
SiH4-Ar (Silane-Ar), 100 sccm
NH3 (Ammonia), 500 sccm
N2O, 5000 sccm
N2, 5000 sccm
CF4, 1000 sccm
O2, 500 sccm
Ar, 1000 sccm
C2H2, 1000 sccm
(2) Purge lines: Silane / CH43
Manual.
STS/CPX Multiplex est un graveur-asher de haute précision conçu pour la production de systèmes microélectroniques de haute qualité. La machine est basée sur un procédé laser innovant, qui fond puis évapore une couche mince d'un matériau choisi. Cela permet de créer des caractéristiques extrêmement fines sur le substrat. La machine est alimentée par un système de contrôle de mouvement 5 axes qui assure précision et répétabilité, lui permettant de créer des fonctionnalités précises sur les microcircuits à couches minces. STS Multiplex est capable de produire des structures tridimensionnelles entièrement gravées avec des profondeurs de 0,2 à 2,0 microns et une largeur comprise entre 0,1 et 5 microns. La machine est également capable d'usiner des composants complexes avec des tolérances extrêmement fines, permettant une personnalisation complète. CPX Multiplex dispose d'un bras robotique 4 axes qui peut positionner le substrat à n'importe quel angle, et le faisceau laser peut être dirigé avec précision. En outre, la machine offre une gamme de motifs et de fonctions de gravure pré-programmés, permettant une facilité d'utilisation lors de la fabrication de composants de plus grande valeur. Le multiplex utilise un laser à forte puissance pour s'évaporer puis rembourser rapidement le matériau fondu. Il en résulte des propriétés de gravure supérieures, produisant des composants de meilleure qualité plus rapidement que les autres graveurs-cueilleurs. La machine est idéale pour créer des caractéristiques ultra fines sur un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les diélectriques et les polymères. Il est également capable de produire des composants avec des niveaux de résistance très bas, ce qui est idéal pour les circuits fonctionnant dans des températures élevées et des environnements haute fréquence. STS/CPX Multiplex dispose d'une plate-forme modulaire qui permet la personnalisation des composants, et le logiciel associé offre une variété d'outils pour la programmation de divers processus de gravure. La machine dispose également d'un système de programmation de numéro de pièce (PNP) automatisé qui facilite la création de composants complexes avec des motifs complexes rapidement et efficacement. C'est un appareil fiable et robuste qui offre une gamme d'avantages dans la production de systèmes microélectroniques. La machine est conçue pour produire de haute qualité
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