Occasion TOKYO OKA / TOK OPM2001CN #9055154 à vendre en France

TOKYO OKA/TOK OPM2001CN est un graveur/asher conçu pour une variété d'applications dans l'industrie de la microélectronique. Il s'agit d'un équipement semi-automatique, composé d'une chambre de traitement sous vide et d'un système de commande. La chambre de traitement sous vide contient quatre zones de chauffage et deux zones de refroidissement, et contient une chambre de gravure et de cueillette pour le traitement des plaquettes et des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre. L'unité de contrôle comprend un contrôleur logique programmable (PLC) et un panneau d'interface opérateur. Cet etcher utilise de l'azote, de l'argon et de l'oxygène gazeux selon le matériau traité. La température de la chambre de gravure et de cueillette peut être ajustée entre 20 et 300 degrés Celsius, le gaz de gravure allant de 100 à 500 sccm. La température et la pression de la chambre peuvent être contrôlées à travers différents capteurs de la machine, assurant des conditions de traitement optimales. Des plaquettes et des substrats sont chargés dans le poste de chargement de l'outil avant la fermeture de la porte de la chambre de traitement sous vide. La porte est scellée par une pompe à vide avant le début de la gravure. La température interne des chambres à l'intérieur de la chambre de gravure et de cueillette est surveillée et contrôlée par le PLC, ce qui permet d'optimiser la vitesse de gravure et la qualité du produit. Lorsque le processus de gravure est terminé, les pompes à vide sont éteintes, ce qui permet de décharger les plaquettes et les substrats en toute sécurité de l'actif. Les pompes à vide doivent être éteintes pour s'assurer que la chambre est sous pression et qu'aucune substance toxique n'est rejetée dans le milieu de travail. Les niveaux d'échappement sont surveillés par les capteurs et systèmes intégrés. Si les niveaux d'échappement dépassent une limite prédéterminée, le modèle avertit l'exploitant. TOK OPM2001CN est conçu pour être un outil fiable et efficace pour les entreprises qui exigent des résultats de gravure et d'ashing de haute qualité sur une variété de matériaux. L'équipement est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, garantissant que le système est sécuritaire et que les substances toxiques ne sont pas rejetées dans l'environnement de travail. L'interface conviviale de l'opérateur permet des réglages rapides et précis du processus de gravure et de cueillette, permettant un traitement rapide et efficace.