Occasion AKT / MKS Astron HF #293608419 à vendre en France

AKT/MKS Astron HF est un équipement de traitement de plaquettes haut de gamme et l'un des outils de pointe pour la création d'une variété de produits à base de plaquettes. Ce système fournit un processus entièrement automatisé pour les plaquettes de toutes tailles et épaisseurs dans des applications telles que l'oxydation à haute température, la croissance épitaxiale et la fabrication de dispositifs. L'unité offre des conditions de traitement contrôlées par ordinateur, de haute précision et répétables avec des temps de cycle rapides et améliore le débit jusqu'à 30 %. AKT Astron HF est conçu pour étendre les capacités de processus de wafer en fournissant un environnement intégré pour les étapes automatisées de processus et les paramètres opérationnels complexes. La machine est équipée d'options qui comprennent un recuit rapide, un débit de pompage variable, un contrôle du débit total et une stabilisation rapide de la pression. En outre, il dispose d'un préchauffage et d'un refroidissement à la température désirée dans une plage de 250 à 800 ° C permettant d'améliorer les taux de formation d'oxyde. Les cartes numériques de l'outil sont équipées de contrôleurs PID pour contrôler pleinement la température et la pression. En outre, cet atout peut être intégré à d'autres dispositifs comme les outils ICP pour un plus grand degré de contrôlabilité, de précision et de répétabilité du traitement des plaquettes. MKS Astron HF intègre un modèle de manutention de plaquettes pour transférer des plaquettes entre la chambre de processus et la chambre de verrouillage de charge, permettant un chargement, un déchargement et une manutention sûrs et sécurisés. Il comprend également un équipement programmable de reconnaissance automatique du point d'extrémité, offrant une flexibilité totale. En outre, les caractéristiques de sécurité de ce système comprennent des emboîtements sous pression et une protection contre les températures excessives. Il a également une capacité de nettoyage in situ qui peut être mis en place pour nettoyer chaque plaquette individuellement, réduisant le risque de contamination. L'unité prend également en charge une gamme de formats de recettes et permet à l'opérateur de contrôler à la fois les paramètres de processus et les variables de contrôle de flux. De plus, les données générées par la machine peuvent être utilisées pour suivre et surveiller les conditions de processus et les temps de cycle. Dans l'ensemble, Astron HF fournit toutes les fonctionnalités et les capacités nécessaires pour gérer les plaquettes pour une large gamme de processus basés sur les plaquettes. Cet outil offre une performance et une précision de température améliorées avec un débit de processus amélioré, assurant des résultats fiables et reproductibles. C'est un choix idéal pour les ingénieurs et les chercheurs qui ont besoin de solutions de traitement de plaquettes efficaces et hautement contrôlables.