Occasion KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695 à vendre en France
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ID: 9247695
Taille de la plaquette: 6"
Coater / Developer systems, 6"-8"
Single cassette
Specific transport
1000 Watt lamp
Curve glass
Simple face.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de micro et nano systèmes électromécaniques (MEMS et NEMS). Le système comprend un étage 3 axes avec une unité à vide intégrée et une plate-forme optique modulaire à étagère. Il est équipé d'une machine optique micronuvex de haute précision offrant jusqu'à 100nm de précision et de répétabilité, ainsi que d'un scanner numérique Z-axis de résolution 0,6um. Il dispose également d'un scriber laser haute vitesse pour augmenter la précision, la vitesse et la productivité. Le MICROTEC Falcon dispose d'un Z-Axis motorisé à grande vitesse permettant un mouvement pouvant atteindre 5nm/s. Il est convivial, avec une interface utilisateur à écran tactile et des options multilingues. L'interface facile à utiliser offre une sélection de vitesse ascendante et descendante avec divers paramètres prédéfinis et permet la programmation de motifs 3D complexes. KARL SUSS Falcon est conçu pour traiter plusieurs types de résistances allant de l'épaisseur à la mince avec une épaisseur uniforme. L'outil de mandrin intégré s'ajuste automatiquement à la hauteur appropriée du substrat avec une fonction de revêtement automatique haut/bas. L'alignement de l'actif d'alignement des plaquettes à deux axes peut être ajusté à n'importe quelle profondeur et largeur. Le modèle supporte différents niveaux de vide allant de 10-7 à 102 torr permettant un traitement de haute qualité et un entretien à long terme. La génération automatique de vide assure une pression de vide optimale, tandis que l'équipement de dégazage intégré maintient les opérations du galvanomètre en évitant les changements de temps. Le système est également équipé d'un amortisseur de gaz qui réduit les vibrations créées par les sources externes, ce qui permet une meilleure précision lors du processus d'exposition aux photorésistances. Falcon est conçu avec les normes de sécurité les plus élevées à l'esprit, répondant à toutes les exigences CE applicables. L'unité est conçue pour fonctionner avec la plupart des protocoles de sécurité standard tels que le lock-out/tagout, la manipulation des matières dangereuses et les exigences de l'EPA/OSHA. Dans l'ensemble, KARL SUSS/MICROTEC Falcon est une machine photorésiste polyvalente et fiable conçue pour répondre aux besoins des fabricants des industries des micro et nano-électromécaniques.
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