Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215 à vendre en France
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ID: 293605215
Style Vintage: 2008
Spin coater
Spin coater module
Spray coater module
Developer module
Control panel
Load ports
SANKYO Robot
HMDs tool
Slot centering tool
Media cabinets
Pressure control
Media cabinets: Tank System
JULABO Temperature controller
Anlagen PC
Operating system: Windows 7
Temperature stack:
Hot plate
Cold plate
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma est un équipement de photorésistance conçu pour fournir la plus grande précision et précision pour les processus de microfabrication avancés. Le système est une plate-forme très précise et fiable pour produire des structures photorésistantes détaillées et à haute résolution. MICROTEC Gamma est équipé d'un bras robotisé, d'étages linéaires de haute précision, d'une unité de chargement automatisée de 8 « x12 » et d'une capacité de capture d'images en plein champ de grossissement élevé. La machine est conçue pour traiter jusqu'à 350 plaquettes par heure, tout en conservant un haut degré de précision et de répétabilité. Le procédé photorésist utilise le rayonnement ultraviolet pour obtenir les structures souhaitées sur la plaquette. Une commande de zoom permet à l'utilisateur de modifier le grossissement de l'outil optique et les temps d'exposition. L'actif d'exposition est déterminé par le contrôle automatisé de la dose d'exposition, du débit de dose et de la taille du spot, selon les besoins. KARL SUSS Gamma dispose également d'un four intégré pour améliorer la résolution de l'exposition en contrôlant la température d'exposition. Gamma peut être utilisé pour une variété de processus de microfabrication, tels que la lithographie, la gravure, la pulvérisation et la planarisation. Les couches photorésistantes appliquées sur les surfaces des plaquettes peuvent être enlevées manuellement ou à l'aide de systèmes de nettoyage automatisés. En outre, KARL SUSS/MICROTEC Gamma peut être utilisé pour l'élimination de couches de photorésist avant l'application de nouvelles couches de photorésist. Le modèle d'alignement intégré garantit une grande précision et répétabilité lors de l'application de plusieurs couches de photorésist, ou lors de corrections d'exposition. MICROTEC Gamma est également équipé d'une suite logicielle avancée qui permet à l'utilisateur d'analyser les données de l'exposition et de stocker les résultats pour référence future. Le logiciel peut également détecter les problèmes d'exposition et corriger automatiquement pour divers problèmes dans le processus photorésist. En conclusion, KARL SUSS Gamma est un équipement de photorésistance idéal pour des processus de microfabrication de haute précision. Il offre une large gamme de fonctionnalités qui permettent à l'utilisateur d'obtenir d'excellents résultats avec une configuration rentable. Le système de chargement automatisé des plaquettes, le four intégré, la puissante suite logicielle et les contrôles automatisés créent la combinaison idéale pour les applications avancées de résines photosensibles.
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