Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9409177 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment est un système entièrement automatisé et de haute précision pour le traitement de films photorésistants sur plaquettes semi-conductrices. Il utilise une unité de contrôle avancée et des algorithmes propriétaires pour fournir un traitement très précis des matériaux en couches minces. La machine dispose d'un bras d'application de film de précision et d'un dispositif de balayage laser optique haute résolution qui peut détecter l'épaisseur des films déposés et analyser la distribution d'épaisseur. Il fournit également une fonction de contrôle de la température pour assurer une épaisseur et une température de film cohérentes. L'outil photorésist traite les films sur la plaquette en deux étapes. Le premier est le pelliculage, dans lequel un matériau à couche mince est déposé sur la plaquette par le bras d'application en une seule passe, puis une étape de traitement par photorésistance. Un dispositif de balayage laser optique haute résolution est utilisé pour analyser la distribution d'épaisseur du film et ajuster le dépôt en conséquence. Il peut alors détecter l'épaisseur des films déposés et analyser la répartition de l'épaisseur avant de transférer la résine photosensible sur la plaquette. L'actif comprend également une fonction de contrôle de la température qui assure un traitement cohérent du matériau à couches minces. Cette fonction peut être utilisée pour assurer une épaisseur et une température de film uniformes tout au long du traitement. Le contrôle de la température est important pour obtenir des films stables et de haute qualité. La couche de couches minces est ensuite traitée à l'aide d'un masque photolithographique placé sur la plaquette. Un laser de forte puissance est alors utilisé pour développer le matériau photorésistant. Ce procédé est suivi d'une étape de revêtement, dans laquelle la plaquette est exposée à une solution qui fait que le matériau photorésist élimine sélectivement le matériau indésirable sur la plaquette. Le modèle peut également traiter des films avec gravure, où le matériau indésirable est gravé loin de la plaquette. En outre, une analyse fine du pas impliquant l'inspection des caractéristiques minuscules peut également être effectuée. TEL MARK7 Photoresist Equipment assure un traitement fiable et précis des films sur plaquettes semi-conductrices. Il est équipé d'un système de contrôle avancé et d'algorithmes propriétaires qui permettent un traitement cohérent et de haute précision des matériaux à couches minces. En utilisant le contrôle de température, il assure une épaisseur et une température de film uniformes pour une meilleure stabilité de traitement. En outre, l'unité permet une analyse pratique du pas fin, avec la possibilité d'inspecter les caractéristiques minuscules sur la plaquette.