Occasion DNS / DAINIPPON LA-820 #9198165 à vendre en France

DNS / DAINIPPON LA-820
ID: 9198165
Rapid thermal processor, 6" Process: CVD(2).
DNS/DAINIPPON LA-820 est un processeur thermique rapide (RTP) spécialement conçu pour les applications en microfabrication avancée et la caractérisation des dispositifs. C'est un équipement robuste et fiable avec une grande précision et répétabilité. Le système est capable de produire des cycles thermiques avec un temps de cycle de 10 ms pour chaque répétition. Il offre une plage de température thermique de -150 ° C à 550 ° C avec une résolution de 0.1K et une uniformité de température de ± 2K. L'unité comprend une plaque chauffante rapide équipée d'un four ayant une capacité de cyclage thermique, ainsi qu'une chambre de réaction fermée avec une machine d'alimentation en gaz d'azote ou d'argon inerte. La chambre de réaction permet de traiter jusqu'à quatre plaquettes mesurant chacune 8 po. en diamètre. La chambre a une plage de température de 25 ° C à 350 ° C avec une résolution de 0.1K et une uniformité de température de ± 2K. L'outil comprend également un étage de translation à quatre axes qui permet un contrôle précis et précis de la position et de l'orientation de la plaquette lors du traitement thermique. L'actif de contrôle intégré fournit une précision et une précision élevées. Il peut également détecter toute anomalie lors du traitement thermique le rendant apte à être utilisé dans des processus thermiques complexes de haute précision. Le logiciel intégré d'enregistrement des données permet aux utilisateurs de surveiller divers paramètres de processus, tels que la température, la concentration de gaz et le débit. DNS LA820 est équipé de plusieurs fonctions de sécurité, dont un modèle de régulation de température en boucle fermée, des capteurs de sécurité en cas de défaillance et un arrêt automatique en cas de surchauffe. L'équipement comprend également un logiciel de manipulation thermique qui permet aux utilisateurs de programmer des séquences de cycles thermiques, y compris des séquences de rampe/rafraîchissement, avec une grande précision. DAINIPPON LA 820 est un système idéal pour la microfabrication avancée et la caractérisation des appareils. Il offre une capacité de cyclage thermique très rapide et une unité robuste et fiable avec une grande précision et répétabilité. Il est adapté au traitement de plaques multiples avec une gamme de profils thermiques, ce qui le rend adapté à une variété d'applications.
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