Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9219516 à vendre en France
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ID: 9219516
Taille de la plaquette: 12"
Standalone rapid thermal processing (RTP) system, 12"
Process: RTA / Spike anneal
Process pressure: ATM
Process temperature: 115°C
Clean room interface: Front interface with (3) loadports
Front end configuration: Ball room
Platform:
Loadport type: TDK
Loadport model: TAS300
FOUP Reader: RFID
Automation: OHT (E84)
GEM Ethernet (HSMS)
MMC MATTSON P/N: 3001068
Sequencer MATTSON P/N: 17002560
I/O Controller MATTSON P/N: 17000910
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Robot: RORZE 700 Dual arm:
Upper arm: Metal blade
Lower arm: Quartz blade
Process module 1:
Wafer pyro MATTSON P/N: 17001048
Lamp pyro MATTSON P/N: 17001040
Gas 3: UFC 8100, N2, 20 SLM
Gas 4: UFC 3101, N2, 150 SLM
Gas 7: UFC 8100, O2, 20 SLM
Gas 8: UFC 3101, O2, 150 SLM
Gas 9: UFC 8100, O2, 2 SLM
Low temperature controller: No
Process quartzware: Standard
Process module 2:
Wafer Pyro MATTSON P/N: 17001048
Lamp Pyro MATTSON P/N: 17001040
Gas 3: UFC 8100, N2, 20 SLM
Gas 4: UFC 3101, N2, 150 SLM
Gas 7: UFC 8100, O2, 20 SLM
Gas 8: UFC 3101, O2, 150 SLM
Gas 9: UFC 8100, O2, 2 SLM
Low temperature controller: No
Process quartzware: Standard
Electrical requirements:
UPS: Internal
Transformer power: 480 V.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide (RTP). Il est conçu pour traiter une variété de procédés tels que le recuit thermique rapide (RTA), la nitridation thermique rapide (RTN), et l'oxydation thermique rapide (RTO). Sa capacité à réaliser ces procédés avec une grande maîtrise et précision en fait un équipement de grande valeur pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AST Helios a une variété de fonctionnalités qui le rendent adapté à de nombreuses exigences de processus. Il a la capacité de ramper des températures jusqu'à 2000 ° C en une milliseconde pour des procédés tels que RTA et RTN. Ses systèmes de régulation de température permettent une régulation précise des températures tout au long du processus à une résolution de 0,1 ° C avec le logiciel, et une résolution de 0,5 ° C avec le matériel. Le système dispose également d'une caméra d'imagerie thermique pour surveiller les températures et vérifier la stabilité pendant le processus. Il peut également accueillir jusqu'à 8 porteurs de plaquettes de quartz et supporter jusqu'à un maximum de 100mm tailles de plaquettes pour le traitement. L'unité est équipée de plusieurs caractéristiques de sécurité qui en font un outil fiable et sûr pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses capteurs multiples surveillent les conditions d'environnement de processus et fournissent une rétroaction continue pour le contrôle de la machine. La rétroaction assure un environnement sûr et cohérent pendant le déroulement du processus. L'outil TEC est également conçu pour répondre à toutes les exigences de sécurité et de température et est surveillé et isolé par ses propres capteurs thermiques et composants d'actifs. Le modèle de contrôle comprend également des verrous de contrôleur configurables et des systèmes d'authentification pour empêcher l'accès non autorisé à l'équipement. STEAG Helios a été utilisé dans de nombreuses industries, tant commerciales qu'universitaires, pour produire des dispositifs semi-conducteurs de haut niveau. Sa capacité à offrir un contrôle de haute précision et des procédés reproductibles en font un outil précieux pour la fabrication de dispositifs. Ses multiples systèmes de sécurité et de contrôle thermique, ainsi que les capacités d'imagerie thermique, font de MATTSON Helios un processeur fiable et sûr pour de nombreuses applications.
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