Occasion STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252 à vendre en France

STEAG / MATTSON / AST Helios
ID: 9275252
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" (3) Load ports (ASYST) (2) Chambers (2) Blowers 2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios est un processeur thermique rapide avancé utilisé pour le recuit thermique et le traitement des plaquettes. Il est construit sur une technologie de pointe pour une uniformité de température supérieure et un recuit à haut débit de grandes et petites caractéristiques. Le processeur fournit une large gamme de températures de recuit et de débit rapide pour les pièces discrètes et les plaquettes. AST Helios est livré avec une zone chaude de 6 « X 6 » et peut chauffer des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre. La conception innovante de STEAG Helios permet un recuit efficace de toute pièce de matériau. Sa puissante technologie de chauffage direct produit une uniformité de température supérieure grâce à un contrôle précis des processus. L'équipement avancé de contrôle de la température assure que la température des zones présélectionnées est exacte et cohérente, ce qui rend le processus de recuit plus efficace et uniforme. MATTSON Helios offre également un traitement thermique rapide, avec des taux de rampe maximum allant jusqu'à 1000 ° C par seconde. Cela augmente la vitesse du processus et les délais d'exécution des cycles thermiques individuels. En outre, le système est également équipé d'une variété de systèmes de surveillance des processus, tels que la surveillance en temps réel des plaquettes, le profilage de température avancé et les essais de fatigue. D'autres caractéristiques comprennent une unité de refroidissement fiable, un logiciel spécialisé pour contrôler le processus de recuit, et une machine d'auto-alignement. Helios dispose également d'une ligne de purge intégrée azote/hélium, qui permet un préchauffage plus rapide, protégeant les matériaux sensibles de l'oxydation et de la contamination. Il est livré avec un outil intégré de protection et de sécurité pour prévenir le surtransformage des plaquettes. STEAG/MATTSON/AST Helios est conçu pour être facilement utilisable et maintenable, même avec une utilisation régulière. La facilité d'utilisation et le temps de disponibilité élevé sont quelques-uns des autres avantages d'AST Helios. Toutes ces fonctionnalités font de STEAG Helios le choix idéal pour toute application de traitement thermique.
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