Occasion CANON / ANELVA EVC-1701 #9282622 à vendre en France
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CANON/ANELVA EVC-1701 est un équipement de pulvérisation à haut niveau conçu pour être utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise des technologies de pointe pour déposer avec précision divers matériaux sur le substrat, tels que les matériaux utilisés pour les couches de barrière et de passivation. Ce système est conçu avec des fonctionnalités d'automatisation intégrées qui assurent une vitesse de dépôt et une uniformité constantes sur les grands substrats. L'unité est équipée de deux grandes cathodes tournantes à 6 poches qui peuvent contenir et pulvériser une grande variété de matériaux, tels que l'aluminium, le cuivre, le zirconium, le chlore, et plus encore. Il comprend également un champ magnétique haute fréquence qui permet de créer et de maintenir une couche de dépôt uniforme pendant le processus. La machine comprend un outil de transfert robotique de substrat multi-disques qui transfère avec précision et rapidité des substrats de différentes tailles et formes de la chambre principale vers des emplacements de chargement et de déchargement. Cette fonctionnalité favorise une manipulation optimale et une production efficace de substrats multiples, assurant une rupture et une contamination minimales. L'actif est équipé d'un modèle d'orientation des plaquettes de haute précision qui permet un positionnement précis et précis de la plaquette sur les sources de dépôt. Cela permet d'éviter les dommages physiques dus à une mauvaise orientation ou à un mauvais alignement. En outre, l'équipement dispose également d'un ordinateur personnel intégré avec une interface utilisateur de panneau tactile pour fournir une expérience simple et conviviale. Ce système peut également être intégré à une unité informatique externe, permettant le fonctionnement à distance et la surveillance. Non seulement la machine CANON EVC-1701 est-elle très précise, mais elle est aussi économe en énergie. L'outil est équipé de plusieurs caractéristiques d'économie d'énergie, telles qu'un obturateur mobile qui limite la zone de dépôt et empêche le plasma parasite d'entrer dans la zone de travail. Cela permet de conserver l'énergie et de réduire l'accumulation de chaleur dans l'actif. Dans l'ensemble, ANELVA EVC-1701 est une source extrêmement fiable de pulvérisation sur des substrats pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il est très efficace, précis, et peut accueillir une grande variété de matériaux. Ses nombreuses fonctionnalités automatisées et sa conception économe en énergie en font un choix idéal pour ceux qui recherchent une solution rentable à leurs besoins de production de semi-conducteurs.
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