Occasion CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II #9269327 à vendre en France

CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II
ID: 9269327
Taille de la plaquette: 4"-5"
Sputtering systems, 4"-5".
CANON/ANELVA ILC-1012 Mark II est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour diverses applications de revêtement en couches minces. Le système comprend une cathode de pulvérisation, une alimentation en plasma, une alimentation en gaz et une table tournante. Au cœur de l'unité se trouve une bobine de plasma à couplage inductif (ICP) pour générer un plasma à haute densité qui est essentiel pour un bombardement ionique efficace dans le processus de pulvérisation. La bobine ICP génère des plasmas de divers gaz nobles tels que l'argon avec des densités de puissance allant jusqu'à 5,8 kW/cm2. Ceci permet une large gamme d'applications de pulvérisation, en particulier pour les revêtements à haute température tels que l'or et l'iridium. La machine est conçue pour profiter du phénomène physique de pulvérisation magnétron où un aimant placé derrière la cathode de pulvérisation maintient les particules libérées du matériau cible plus bas au niveau du substrat, augmentant ainsi l'efficacité du revêtement. Il dispose d'une cible rectangulaire de 13,1 cm de diamètre qui peut contenir jusqu'à 10 kg. La cible est capable de tourner à 360 degrés pour une couverture uniforme du substrat et est revêtue d'un mince film d'or ou d'un autre matériau pour générer des particules pulvérisées. L'outil est également équipé d'une alimentation en gaz qui abrite jusqu'à 5 bouteilles de gaz de divers gaz nobles qui sont utilisés pour générer le plasma haute densité. La pression et le débit de ces gaz peuvent être ajustés précisément à partir du panneau de commande principal pour optimiser le processus de pulvérisation. L'actif dispose également d'une table tournante de haute précision qui permet un revêtement précis et uniforme du substrat. La table peut tourner de 0 à 6000 tours par minute avec une taille minimale de pas de 5 tr/min, ce qui permet d'adapter avec précision l'épaisseur du revêtement. CANON ILC-1012 Mark II est un modèle puissant et très efficace de pulvérisation capable de produire des couches minces de haute qualité pour une grande variété d'applications, ce qui en fait un choix idéal pour les laboratoires de revêtement et de dépôt.
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