Occasion CANON / ANELVA ILC 702 #293657154 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 702 est un équipement de pulvérisation magnétron de haute précision utilisé pour la production de couches minces de haute précision et uniformité. Ce système est capable de déposer des films sur différents matériaux de substrat, dont le métal, le plastique, le verre et la céramique. CANON ILC 702 est capable d'effectuer des dépôts de pulvérisateurs à une large gamme de pressions, de la pression atmosphérique normale au vide. Pour ce faire, on utilise un pistolet pulvérisateur à magnétron à courant continu de forte puissance, qui utilise un vide magnétiquement accru vers une chambre à vide proche avec une pression de travail de 10-2 à 20 mTorr, et qui peut fonctionner à des températures de 0 ° C à 800 ° C En outre, il comprend une alimentation haute tension, un canon à faisceau d'électrons et une machine d'injection de gaz. L'outil ANELVA ILC 702 est équipé d'un groupe motopropulseur pour un contrôle précis du pistolet. Cette unité est capable de produire une vitesse angulaire constante, assurant un dépôt uniforme sur le substrat. La base rotative motorisée déplace le pistolet à pulvérisation sur deux axes horizontaux pour permettre la pulvérisation de grandes cibles et de surfaces convoluées. Le mouvement du pistolet pulvérisateur est contrôlé avec précision par les capteurs optiques de l'actif. Le modèle ILC 702 est conçu pour une grande précision et uniformité des films déposés. Il a une vitesse de dépôt de pulvérisation allant jusqu'à 0,3 m/min et une vitesse de pulvérisation allant jusqu'à 1,2 nm/s. L'uniformité est obtenue par le pistolet à pulvérisation magnétron à forte puissance et la base tournante. L'équipement comprend également un système d'injection de gaz pour contrôler la pression de gaz dans la chambre à vide. Ceci est fait pour assurer un écoulement uniforme du gaz dans la chambre et pour assurer les propriétés de matériau diélectrique désirées. L'unité comprend également une chambre de dépôt automatique, où les substrats sont placés pour le procédé de pulvérisation. Cette chambre est conçue avec des parois de haute précision et équipée d'une machine à filtre à haut rendement. Cela aide à assurer un environnement sans poussière et particules et un environnement sans oxygène pour le processus de pulvérisation. En outre, différents types de parois sont également disponibles pour augmenter encore l'uniformité des revêtements. L'outil CANON/ANELVA ILC 702 est idéal pour les dépôts en couches minces dans des applications telles que l'électronique, l'optoélectronique, le MEMS, l'aérospatiale et les dispositifs médicaux. Il comprend une gamme de caractéristiques qui permettent un fonctionnement facile et un contrôle précis, ce qui le rend adapté aux applications nécessitant précision et répétabilité.