Occasion EBARA EPO-222T #293662648 à vendre en France

ID: 293662648
Style Vintage: 2004
CMP System 2004 vintage.
EBARA EPO-222T est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour être utilisé avec des substrats semi-conducteurs et d'autres substrats non métalliques. Ce système dispose d'une conception robuste et fiable qui permet d'obtenir des résultats cohérents et de haute qualité. L'unité est conçue pour manipuler des substrats de tailles et d'épaisseurs différentes et peut être utilisée pour diverses opérations, y compris l'amincissement des plaquettes, le polissage, le broyage de surface et le broyage des bords. La machine se compose d'une table principale réglable sur deux axes et d'un bras robotique sur trois axes. La table réglable à deux axes peut être utilisée pour positionner les substrats et les déplacer dans l'espace de travail, ainsi que pour incliner et optimiser l'opération de polissage/meulage. Le bras robotique peut être utilisé pour manipuler des substrats jusqu'à 200mm de diamètre et permet un déplacement précis et répétable des substrats dans l'espace de travail. EBARA EPO222T dispose également d'un outil de refroidissement, qui fournit du liquide de refroidissement aux meules et aux roues de polissage pour mieux gérer la chaleur générée lors de l'opération. En outre, l'actif peut être équipé de couteaux à air pour un refroidissement optimal et une durée de vie accrue du disque. L'OEB 222T est équipé de deux ensembles d'outils de broyage/polissage, chacun pouvant être utilisé pour effectuer différents types d'opérations selon l'application. Le premier ensemble comprend une meule en diamant, un disque de tapis en diamant et un coussin de polissage pour un fonctionnement à vitesse variable. Le deuxième ensemble d'outils est composé d'une meule, d'un disque de rodage et d'un tampon de polissage pour des opérations de polissage de haute qualité. Les outils sont conçus pour broyer et polir une variété de substrats, tels que le quartz, le silicium et le GaAs. Le modèle est également équipé d'un équipement de sécurité et de protection hautement fiable. Ce système comprend un dispositif de sécurité mobile, des embrayages et des boutons d'arrêt d'urgence qui sont conçus pour assurer le fonctionnement sûr de l'unité. En outre, EBARA OEB 222T est conçu pour répondre aux normes internationales de sécurité telles que CE, RoHS et DEEE. EPO222T est une machine de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes incroyablement polyvalente et fiable. Cet outil a une conception robuste et robuste, lui permettant d'effectuer des opérations cohérentes et fiables sur une variété de substrats semi-conducteurs et non métalliques. L'actif est équipé de deux ensembles d'outils de broyage/polissage, d'un modèle de liquide de refroidissement et d'un équipement de sécurité, permettant des opérations de broyage et de polissage optimales avec la plus grande sécurité et fiabilité.
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