Occasion EBARA EPO-222T #9238850 à vendre en France

ID: 9238850
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Wafer reclaim system, 12" Transfer module Clean module Polish module Power module 2004 vintage.
EBARA EPO-222T est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes haute performance qui offre des résultats supérieurs à chaque application. Cette machine est conçue pour être utilisée avec des procédés de broyage de précision, de nappage et de polissage de plaquettes de silicium. Le système peut être appliqué à un large éventail de substrats dont Si, SiC et GaN. EBARA EPO222T est doté d'un design multi-étapes qui lui permet de traiter des plaquettes de différents diamètres, épaisseurs et matériaux avec une finition efficace et reproductible. Il est composé d'un cadre de boîtier principal avec un contrôleur CNC à quatre axes monté à la base, d'une tête de meulage/rodage et de divers sous-systèmes périphériques. La tête de broyage/rodage est constituée d'une broche lourde avec vitesse et alimentation réglables, permettant à l'utilisateur de peaufiner le processus de broyage/rodage selon l'application. Cette unité dispose d'un environnement de fonctionnement à faible bruit, permettant une protection contre le bruit jusqu'à 95 dB (A). Pour réduire les vibrations, on utilise un entraínement hors-bord auxiliaire. Il dispose également d'une machine d'éclairage haute intensité, permettant aux utilisateurs d'observer leurs processus avec précision et en détail. En outre, un ensemble de gardes de sécurité est prévu pour assurer une sécurité opérationnelle maximale. EPO 222T est équipé d'une roue de polissage centrifuge capable d'obtenir une finition polie sur les plaquettes en une seule passe.Son mode de polissage automatique complet offre des fonctionnalités avancées telles que la vitesse de rotation réglable, la vitesse de rotation réglable et la pression de polissage réglable pour aider les utilisateurs à atteindre la plus haute qualité finale de polissage. L'outil est facile à utiliser, rapide et efficace. Il peut être utilisé manuellement ou programmé avec une variété de paramètres pour répondre aux besoins uniques de chaque utilisateur. Enfin, l'ensemble de l'actif est logé dans un petit capot d'amortissement fermé, avec une unité de collecte des poussières sous vide en option pour minimiser la dispersion des poussières.
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