Occasion EBARA Frex 300S2 #9364498 à vendre en France
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ID: 9364498
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
CMP System, 12"
Polisher:
(4) Turn tables
(4) Top rings (GX 8-Area)
(4) Scan dressers
(4) Atomizers
(2) Liner transportors
(2) Turn overs
STP
Controller
(4) Slurry scan nozzles
(4) Wafer slip out sensors
(2) Operation panels
Cleaner:
R/R With megasonic jet
R/R
2FJ
IPA/SRD
EFEM:
Dry robot
(4) Loadports
(2) Operation panels
ITM NOVA
Slurry nozzle motor type
Auto calibration
Options:
GX Carrier
Anti static material for wafer exposed surface
Eddy current end point monitor (R-ECM1D)
(2) ME-30 for S-OPM
TCM EPD Controller
Malema slurry flow controller
Light curtain for EFEM
Camera
2015 vintage.
EBARA Frex 300S2 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes de pointe conçu pour fournir des résultats précis et reproductibles dans le traitement des plaquettes semi-conductrices haut de gamme. EBARA F-REX300S2 utilise un contrôleur de mouvement et un lecteur microstep performants, permettant un contrôle exceptionnellement précis du processus de broyage, de rodage et de polissage, conduisant à une qualité et à une répétabilité difficiles à réaliser avec les systèmes conventionnels. FREX-300 S2 présente une conception de plateaux de 300mm (12 po) offrant une grande surface de traitement pour l'abrasion des plaquettes ou des substrats minces. Il dispose également d'un puissant moteur 400W broche fournissant un couple élevé pour la finition fine. Le système de transmission par courroie permet une précision de 0,01 μ m, tandis que la technologie d'assistance électrique et une unité de commande numérique par ordinateur (CNC) permettent une précision exceptionnelle même à la vitesse. Le FREX 300 S2 est conçu pour un entretien et un fonctionnement faciles. Il dispose d'une machine hiérarchique programmable, permettant une adaptation facile et un fonctionnement efficace. La machine a une conception robuste et rigide qui minimise les vibrations sans compromettre la précision. De plus, la conception permet un accès rapide et facile à tous les composants, faisant de la maintenance et de la mise en place un processus rapide et pratique. EBARA FREX-300 S2 dispose également d'un outil de sécurité de pointe. Il contient une chambre d'éclaboussure et des vannes centrales de commande d'air, réduisant les entrées de l'opérateur et facilitant le fonctionnement. L'actif optionnel de surveillance de la charge RC garantit que les tâches sont surveillées et contrôlées, prévenant les dommages ou les dysfonctionnements qui pourraient causer des défauts ou des surfaces inégales. En conclusion, F-REX300S2 représente l'état de la technique dans les systèmes de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Ses caractéristiques avancées et sa conception intuitive fournissent la précision et la précision requises pour la production de plaquettes semi-conductrices haut de gamme, ainsi qu'une expérience utilisateur sûre et fiable. Avec ses performances inégalées, sa fiabilité et ses fonctionnalités conviviales, l'EBARA FREX 300 S2 est un choix idéal pour tout fabricant à la recherche d'une production efficace, fiable et reproductible.
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