Occasion ASML AT 1100 #293664232 à vendre en France

ASML AT 1100 est un outil de lithographie et de gradins de haute précision conçu pour les principaux fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il utilise une technologie de pointe pour modeler des caractéristiques minuscules sur des plaquettes semi-conductrices avec une résolution de 0,6 microns. Le scanner à 4 axes aligne les réticules sur l'étage de la plaquette et peut couvrir une plage de 2 « (50,8 mm) à 12 » (304,8 mm). La conception parallèle du palier à air multi-axes de la machine permet un alignement et un contrôle de mouvement précis des réticules et des plaquettes. L'utilisation de la technique de lithographie par immersion à courte longueur d'onde permet une nouvelle réduction des tailles de caractéristiques. La conception optique à deux champs avec une lentille d'immersion en silicium a la capacité de fournir une profondeur de réduction de focalisation d'un facteur de 6, ce qui permet de modéliser les caractéristiques encore plus étroitement ensemble. En outre, la conception optique à deux champs fournit une ouverture numérique élevée de 0,93, ce qui se traduit par un temps de cycle plus rapide. AT 1100 est un système clé en main alimenté par le logiciel ASML ACE. Il utilise des caractéristiques de source laser optimales à partir d'algorithmes d'uniformité, d'intensité et d'uniformité énergétique multicouche pour obtenir une exposition UV optimale. Il utilise également un système TML (Time Modulated Laser) pour réduire les distorsions thermiques couramment observées dans l'éclairage laser. L'ASML AT 1100 offre également des performances et une précision de recouvrement avancées avec son moniteur de placement (PM-1) et sa métrologie d'étage de plaquettes. La précision de position de la machine est de 4nm en X/Y, 2 angles et 5nm en Z pour assurer une précision maximale pendant l'exposition. La machine est équipée d'un Co-Aligner motorisé intégré qui assure un alignement rapide, précis et reproductible sans nécessiter de réglages manuels. Pour garantir la plus grande fiabilité et débit AT 1100 est équipé d'un module de service intelligent, qui peut détecter les problèmes mineurs et les opérateurs d'alerte. De plus, une série complète d'outils de suivi et d'examen du processus sont intégrés afin d'assurer un contrôle maximal du processus. En conclusion, ASML AT 1100 est un pas de tranche de précision conçu pour des applications semi-conductrices avec une résolution de 0,6 microns et des fonctionnalités avancées telles que le système TML et le co-alignement intégré. La machine offre un haut niveau de précision et de fiabilité, grâce à son module de service intelligent et ses capacités de surveillance des processus. AT 1100 est un choix fiable et capable pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices.