Occasion ASML PAS 2500 / 40 #293629183 à vendre en France

Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 40
ID: 293629183
Stepper.
ASML PAS 2500/40 est un pas de plaquette conçu pour la fabrication de semi-conducteurs, de panneaux d'affichage et de composants d'imagerie médicale. Il est équipé d'une technologie de pointe d'imagerie optique, de projection et de positionnement, afin de fournir une uniformité d'image optimale et un contrôle de mouvement du substrat dans les applications de traitement des semi-conducteurs. Au cœur de l'équipement se trouve une installation de double imageur, qui combine deux lasers de 125 mm pour créer une source unique de 250 mm. Cette caractéristique est responsable de l'imagerie à haut débit et à très haute résolution des substrats jusqu'à 8 "de diamètre. En outre, le système bi-laser est capable de 350nm d'imagerie de source lumineuse avec des fluctuations inférieures à 1nm. L'unité est équipée d'une machine avancée de commande de mouvement x, y, z pour le déplacement précis du substrat. Il utilise un moteur linéaire de précision conçu pour fournir un mouvement de scène rapide et précis. La combinaison de débit élevé, de haute résolution et de contrôle de position de haute précision permet à l'outil d'atteindre un débit allant jusqu'à 40 plaquettes par heure. Un modèle intégré de manutention des plaquettes est également intégré à l'actif. Cela automatise le processus traditionnel de chargement du substrat pour réduire la complexité et augmenter le temps de cycle. Le chargeur et le déchargeur utilisent une conception de bras articulés pour maintenir la position du substrat et optimiser le temps de processus. La combinaison de l'automatisation et du contrôle du mouvement de précision permet à l'équipement d'obtenir des temps d'imagerie et de traitement uniformes. Pour augmenter encore les capacités du système, ASML PAS 2500/40 est équipé d'une variété de fonctionnalités en option. La suite logicielle peut accueillir un large éventail de substrats, ainsi que permettre des processus personnalisés et des recettes. En outre, l'unité est compatible avec une variété de matériel de processus, tels que les séchoirs à rincer, les modules propres et les systèmes de lampes à fente. PAS 2500/40 est un pas de plaquette très efficace et personnalisable. Il combine le contrôle du mouvement de précision, l'imagerie double laser, la manipulation automatisée des plaquettes et une suite logicielle robuste pour fournir le meilleur contrôle d'imagerie et de processus possible. Avec son haut débit, sa technologie d'imagerie avancée et sa compatibilité avec une variété de matériels de traitement, PAS 2500/40 est une solution idéale pour tous les besoins de traitement des semi-conducteurs.
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