Occasion ASML PAS 2500 / 40 #9356981 à vendre en France

ASML PAS 2500 / 40
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 40
ID: 9356981
Taille de la plaquette: 5"
Steppers, 5".
L'ASML PAS 2500/40 est un équipement de pointe, commandé par ordinateur, pour pas de plaquette. ASML PAS 2500/40 est capable de produire des images haute résolution sur une large gamme de tailles de plaquettes, de 2-5 pouces de diamètre. Le système dispose d'une conception modulaire qui permet une configuration et une reconfiguration faciles de l'unité, permettant ainsi à l'utilisateur d'obtenir une performance optimale et un débit maximal. PAS 2500/40 comprend un étage d'entraînement linéaire très précis, optimisé thermiquement, qui utilise une machine de compensation de trajectoire active (APC) unique, brevetée et basée sur le laser. Cet outil APC avancé compense les différences de topographie des plaquettes en ajustant l'intensité lumineuse laser pour refléter les différences topographiques. Il en résulte que l'utilisateur est en mesure d'obtenir un alignement extrêmement précis des composants optiques sur la plaquette. De plus, PAS 2500/40 intègre un atout de contrôle de boucle entièrement fermé, permettant une rétroaction en temps réel complète des paramètres de position et d'exposition. ASML PAS 2500/40 offre également plusieurs capacités d'imagerie avancées, telles que la stabilisation d'image, la correction de courbure de champ, et un choix de plusieurs modes d'exposition. Il comprend également un modèle d'alignement différentiel (DAS) efficace qui élimine la nécessité d'ajuster manuellement le plan focal. De plus, l'ASML PAS 2500/40 dispose d'une capacité de recouvrement optionnelle de haute précision, ce qui permet une adaptation de haute qualité des motifs optiques sur la plaquette. PAS 2500/40 utilise une conception optique avancée, qui combine l'optique principale et les verres rapides (atténuateurs) dans le même équipement. Il en résulte une résolution améliorée et une distorsion plus faible. En outre, le système offre également une vaste bibliothèque de paramètres pour une variété de couches différentes. En outre, un ensemble étendu de fonctions de sécurité offre une protection supérieure pour l'utilisateur et l'appareil. En résumé, PAS 2500/40 dispose d'un design avancé, de composants très précis et d'excellentes capacités d'imagerie. Il offre flexibilité, précision et précision d'image, ce qui en fait un excellent choix pour les systèmes pas à pas de plaquettes.
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