Occasion CANON FPA 2000 i1 #293591390 à vendre en France

Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2000 i1
ID: 293591390
Stepper.
CANON FPA 2000 i1 est un pas de plaquette conçu pour fournir une imagerie lithographique précise avec un débit élevé et une excellente précision. Il dispose de deux lasers, d'un équipement d'alignement périodique interfacé et d'une technologie avancée d'éclairage/détecteur. Un système sophistiqué Defocus Monitor System (DMS) permet également d'assurer des expositions stables. Le dispositif est alimenté par la technologie de la tête de captage optique à double source, avec une combinaison éclaireur-détecteur avancée capable de fournir une imagerie haute résolution. Le SGD aide à fournir une dose d'exposition répétée uniforme et le placement des motifs pour une seule couche et plusieurs couches résistent aux expositions. Il fournit une rétroaction en temps réel à l'unité optique pour la correction de défocus et de distorsion d'étage. Le mouvement à 5 axes complet est maintenu à l'aide de la machine de commande de mouvement de haute précision CANON. CANON FPA2000-I1 offre une imagerie haute résolution de 20 nanomètres, ce qui est nécessaire pour de nombreux processus de microfabrication actuels. L'outil est conçu avec deux lasers, utilisés en combinaison pour maximiser la précision d'exposition. Il dispose également d'un outil sophistiqué Defocus Monitor Asset (DMS) qui est capable de s'adapter à l'application actuelle, en scannant chaque champ et en compensant automatiquement les écarts dans le placement des motifs causés par l'aberration d'étape. Le modèle dispose d'un illuminateur intelligent intégré, capable de gérer les exigences d'exposition les plus difficiles à résister avec une répétabilité fiable. Les capacités de ce logiciel comprennent l'optimisation des lignes de numérisation, l'optimisation des masques, l'indexation des champs et la segmentation des motifs. FPA-2000I1 est également automatisé, offrant un ensemble complet de modes de fonctionnement tels que l'étalonnage automatisé, l'autodiagnostic et la manipulation des défauts, et l'optimisation de la profondeur Z embarquée pour exécuter des techniques de focalisation et de contrôle d'exposition de haute précision. Dans l'ensemble, CANON FPA 2000 I 1 est un pas de plaquette avancé, qui peut fournir l'imagerie lithographique de précision avec une excellente précision et fiabilité. Doté de deux lasers, d'un équipement d'alignement périodique interfacé et d'un DMS sophistiqué, le système est capable d'offrir une imagerie haute résolution de 20 nm et des modes de fonctionnement automatisés et personnalisables. Avec un illuminateur intégré et diverses caractéristiques impressionnantes, cette unité est un choix idéal pour porter votre processus de microfabrication au niveau suivant.
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