Occasion CANON FPA 2000 i1 #9313447 à vendre en France

CANON FPA 2000 i1 est un pas de plaquette utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de circuits intégrés. Il s'agit d'un pas de projection à 4 faisceaux avec une surface d'exposition maximale de 20mmx10mm. CANON FPA2000-I1 dispose d'un équipement intégré d'éclairage multi-longueurs d'onde qui utilise des lasers excimères ARF (193nm) et KrF (248nm), ainsi qu'un laser UV. Cela permet à l'étape de la plaquette d'optimiser le temps d'exposition et d'obtenir une haute résolution de moins de 1 micron pour l'imagerie fine. La tête d'exposition dispose également d'un étage 6 axes avec une vitesse maximale de 10mm/s et une précision de 0.1mm, assurant un alignement et un positionnement précis de la plaquette pour une fixation optimale. FPA-2000I1 est conçu avec un système optique modulaire à 1 cadre, qui permet une intégration simple sur d'autres systèmes tels que la métrologie ou les outils d'inspection. Il offre également une haute résolution, une grande dynamique et une très faible distorsion. L'unité utilise un objectif à ouverture numérique variable (NA) avec une NA maximale de 0,4 et une focale Z réglable, ainsi qu'un module d'alignement numérique. Cette combinaison de fonctions permet des corrections d'exposition et permet une imagerie de haute précision. CANON FPA-2000 I 1 possède un microscope motorisé intégré qui peut être utilisé pour évaluer les motifs au niveau de la plaquette, ainsi que pour mesurer les largeurs de ligne ou les dimensions critiques des motifs. Le stepper peut également être équipé d'une machine de sécurité renforcée qui est conçue pour protéger le personnel du rayonnement laser. FPA-2000 I 1 dispose d'une interface facile à utiliser et d'un support pour les opérations manuelles et à base de recettes qui peuvent être programmées à l'aide d'une interface de glisser-déposer. L'outil offre également la surveillance, l'enregistrement et l'analyse des données en temps réel. Dans l'ensemble, FPA2000-I1 est un pas de plaquette puissant et précis avec des caractéristiques polyvalentes et un design compact. Il offre un excellent contrôle des processus et permet de réaliser des circuits intégrés de haute précision.