Occasion NIKON NSR 1505 G6E #293592863 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G6E
ID: 293592863
Stepper, parts machine 1998 vintage.
Le Nikon NIKON NSR 1505 G6E est un amplificateur à balayage laser à haute performance utilisé pour la lithographie à semi-conducteur. Piloté par un scanner haute puissance et une optique confocale avancée, NIKON NSR-1505G6E assure une exposition précise et rapide pour la fabrication de composants électroniques ultra-fins. NSR 1505 G6E utilise un scanner laser de pointe qui offre une imagerie de haute précision tout en réalisant de faibles distorsions p-V. La structure hexapodique à double colonne offre une excellente stabilité et un contrôle précis du mouvement, tandis que les étages de mouvement indépendants offrent encore plus de contrôle sur les dimensions de l'image. Le scanner utilise une conception optique à jour qui offre une résolution latérale superbe de 0,45 nm, une intensité lumineuse accrue et une plus grande uniformité d'image. Le profil optique du scanner est extrêmement uniforme, fournissant une image à faible distorsion sur tout un champ de vision. NSR-1505G6E est équipé d'un puissant équipement d'éclairage qui offre un débit de lumière élevé. Cela permet au pas de plaquette d'obtenir un temps d'exposition optimal et un débit de plaquette maximal, ce qui le rend idéal pour les opérations de production. Le système piloté par ordinateur facilite le contrôle précis de l'imagerie et de l'exposition. NIKON NSR 1505 G6E a une large gamme de paramètres programmables, tels que les motifs de longueur d'onde, largeur de fente, commande de focalisation, puissance laser, durée d'impulsion et forme d'impulsion. Ces paramètres peuvent être personnalisés en fonction des exigences de chaque application. NIKON NSR-1505G6E est capable de manipuler des substrats d'un diamètre pouvant atteindre 200mm et possède des capacités d'exposition à grande vitesse et à grand champ. Il supporte également l'utilisation de processus MEBES resist et LPCVD, de sorte qu'il peut être utilisé dans plusieurs applications et situations. NSR 1505 G6E comprend également une unité de diagnostic avancée. Une machine d'autodiagnostic surveille les performances de l'outil, tandis que la fonction de diagnostic à distance permet aux techniciens de diagnostiquer et de réparer à distance les problèmes. Dans l'ensemble, NSR-1505G6E est un pas de plaquette puissant et avancé qui offre une précision et des performances inégalées. Ce pas de plaquette, avec sa haute qualité optique, scanner, éclairage et paramètres programmables, est idéal pour la lithographie semi-conductrice et continuera à servir l'industrie pour les années à venir.
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