Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9207086 à vendre en France

NIKON NSR 1505 G6E
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G6E
ID: 9207086
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1988
Steppers, 4" 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper est un stepper très avancé pour la lithographie semi-conductrice. Cet équipement est conçu pour des plaquettes de 200mm et intègre l'unique optique à diffraction limitée et la technologie d'immersion brevetée. L'optique dispose de la technologie Multi Beam Scanning, ce qui signifie que plusieurs faisceaux laser sont utilisés simultanément pour obtenir une résolution d'image et une précision supérieures. La technologie d'immersion applique un milieu d'immersion liquide entre la lentille et la plaquette pour augmenter la précision et réduire les aberrations optiques. Ce stepper dispose également d'un double alignement de masque de poutre, qui combine deux poutres pour exposer avec précision les masques sur la plaquette, et fournit la meilleure précision de placement de bord en classe et l'uniformité de dose. La conception d'étape avancée de NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper permet l'utilisation de plus grandes tailles de substrat avec une précision supérieure. Son grand étage avancé offre une surface de travail XY de 600 x 600 mm et un mouvement lisse et contrôlé pour une stabilité et une précision optimales. Il a également une grande enveloppe de travail avec un dispositif de protection de Wafer haute performance, empêchant tout cas indésirable de masque ou de cassure de Wafer due à une manipulation inappropriée. NSR 1505 G6E Wafer Stepper dispose de puissantes capacités de balayage de plaquettes, atteignant des vitesses de débit allant jusqu'à 1200 plaquettes/heure. Il peut également s'occuper de multiples opérations en un seul cycle, telles que l'écriture des données d'exposition à la volée tout en exposant le masque de plaquette. Ce système comprend également une unité de contrôle de la qualité, qui surveille l'alignement et l'enregistrement des plaquettes, et gère automatiquement les points d'exposition des plaquettes aux plaquettes lors des opérations de production automatisées. En termes de caractéristiques de sécurité, NSR-1505G6E Wafer Stepper est équipé d'un volet de sécurité, pour protéger le stepper contre les dommages en cas de fonctionnement anormal. Il dispose également d'un disjoncteur à interface humaine, qui coupe l'alimentation en cas de surcharge électrique. Ceci est complété par une machine de protection automatisée qui protège l'équipement optique contre le risque d'exposition excessive au rayonnement. Dans l'ensemble, NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper est un outil lithographique fiable et performant, intégrant une gamme de fonctionnalités avancées et de protections de sécurité, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.
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