Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9233490 à vendre en France

Le NIKON NSR 1505 G6E est un équipement à hautes performances utilisé pour la production en série de semi-conducteurs. Il est capable d'imager des plaquettes jusqu'à 8 pouces de taille avec un rapport de réduction 4X, à une taille de champ d'image maximale de 532mm x 603mm. Ce stepper est équipé d'une lampe UV Mercure profonde, qui permet un éclairage uniforme sur les surfaces des plaquettes à l'aide d'un système d'alignement laser HeNe. Il dispose également d'une unité optique avancée avec une résolution de 0,5 μ m ou 0,25 μ m. La machine dispose également d'un Chuck ElectroStatic (ESC) pour le serrage des plaquettes en place pendant le processus d'imagerie et d'une fonction Step and Scan Longer Exposure (SSLE), qui permet une exposition uniforme à la lumière sur toute la surface de la plaquette. NIKON NSR-1505G6E est également conçu pour être extrêmement efficace et productif pour l'imagerie d'un grand nombre de plaquettes. L'outil dispose d'un outil automatisé de manutention des plaquettes qui utilise un porte-plaquettes, un bras robotique et une bande transporteuse pour déplacer rapidement les plaquettes entre la station de mesure, la station de chargement/déchargement et la station d'imagerie. En outre, le stepper comprend également un modèle de gestion de recette, qui permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres de processus pour chaque plaquette, assurant que les meilleurs résultats pour chaque processus d'imagerie sont atteints. L'équipement dispose également d'une fonction d'auto-étalonnage intégrée qui permet une imagerie très précise avec un temps d'installation minimal. NSR 1505 G6E a été spécialement conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication de semi-conducteurs, comme la lithographie. Il est également conçu pour être très fiable, avec un temps moyen entre les échecs (MTBF) notation de plus de 500 000 heures. NSR-1505G6E est conforme aux normes SEMI E-53 et GEM (surveillance mondiale des équipements), ce qui signifie que toutes les données nécessaires sont facilement accessibles à partir du système, avec un minimum d'efforts. Enfin, cette unité pas à pas est également conforme à la réglementation RoHS de l'UE, ce qui signifie qu'elle est certifiée comme ayant un impact minimal sur l'environnement.