Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9276476 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9276476
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6"
Lens resolution: 0.70 µm
Lens distortion: ±100 nm
Magnification error included
Open flame:
Maximum exposure area: Square 15 mm
Vertical x horizontal: 17.5 mm x 12.5 mm
Focus check: ≤ ±0.3 µm
Lamp power: 500 mW/cm²
Lamp uniformity: 3.0%
Dose controll accuracy: ±1.0%
Integrated exposure stability
Reticle blind: 0.4- 0.8 mm
Reticle rotation accuracy: 0.03 µm
Target value repeatability: 0.02 µm
LSA Telecen: ≤ ±0.5 µm
LSA Repeatability: ≤ 0.2 µm
Overlay: ≤ ±0.15 µm
Stepping accuracy: 3σ ≤ 90 nm
Wafer stage flatness: 3.0 µm / 150 mm
Chip leveling: ≤ 0.4 µm (10 mm)
Wafer transfer:
Failure / (4) Lots wafer
Prealignment2
Repeatability: 3σ 15 µm
Wafer: Flat type
Reticle size, 5"
Wafer loader
(2) Cassette tables
Ceramic arm
Reticle loader:
PPD
Reticle, 5"
Automatic Reticle Loader (ARL)
Wafer stage
Leveling stage: X, Y, Z, T
Chip leveling
Wafer holder: Ring type, 6"
Illumination:
Lens type: 0.54
Maximum expose area: 15 mm square to 12.5(H) mm x 17.5(V) mm
Reduction ratio: 5x
Lamp power supply unit
Alignment
Laser power supply: WGA and LSA
Alignment method: WGA and LSA
Systems:
MCS2
Floppy drive for storage
Environment chamber.
NIKON NSR 1505 G6E est un pas de plaquette de haute précision, conçu pour être utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce stepper offre une grande précision et vitesse, ainsi qu'une excellente qualité d'image pour la lithographie et les processus de gravure. NIKON NSR-1505G6E utilise une combinaison avancée d'optique et d'électronique pour garantir une précision et une qualité d'image supérieures. Son équipement optique comprend une lentille à ouverture numérique élevée (NA), qui permet une résolution d'imagerie plus élevée. Le stepper dispose également d'un système de traitement d'image sophistiqué et d'une large gamme de mouvements, lui permettant d'aligner et d'ajuster facilement sa position aux motifs d'image sur des plaquettes ou des substrats. NSR 1505 G6E est capable de produire des images avec une résolution de 0,25 μ m, ce qui est beaucoup plus élevé que la résolution de beaucoup d'autres wafer steppers. Il peut également exposer avec précision plusieurs motifs sur plaquette à la fois, et peut obtenir une répétabilité fiable des motifs en permettant des réglages précis de la position et de l'exposition. Avec un temps de balayage à grande vitesse de 2,1 secondes, ce pas aide à réduire la consommation d'énergie et minimise le besoin d'intervention humaine. NSR-1505G6E est extrêmement fiable et facile à utiliser. Il est construit avec un logiciel de contrôle sophistiqué, qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster facilement le fonctionnement du stepper. Ce logiciel permet également d'ajuster la vitesse et l'exposition en temps réel, ce qui permet de réduire les coûts et les déchets en optimisant le temps d'exposition. Enfin, NIKON NSR 1505 G6E est hautement personnalisable, permettant aux utilisateurs de configurer l'unité pour des applications spécifiques. Le stepper est disponible en configuration simple ou double poche, et plusieurs modules matériels peuvent être ajoutés pour permettre une plus grande flexibilité et de contrôle. Le stepper est capable de prendre plusieurs formats d'entrée, et peut être connecté à la fois à des systèmes manuels et automatisés. Dans l'ensemble, NIKON NSR-1505G6E wafer stepper est un excellent choix pour la lithographie et les processus de gravure. Il offre une imagerie précise et haute résolution, une répétabilité fiable et une excellente facilité d'utilisation. Avec une machine optique avancée, un outil de traitement d'image sophistiqué et une configuration personnalisable, NSR 1505 G6E peut aider à augmenter l'efficacité et à réduire les coûts d'exploitation.
Il n'y a pas encore de critiques