Occasion NIKON NSR 2005 i8A #9250072 à vendre en France

NIKON NSR 2005 i8A
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i8A
ID: 9250072
Taille de la plaquette: 6"
Wafer stepper, 6".
NIKON NSR 2005 i8A wafer stepper est un équipement essentiel pour les procédés lithographiques avancés dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est une machine très précise capable de produire des caractéristiques extrêmement petites sur des substrats minces. NIKON NSR 2005I8A se compose d'un ordinateur central, d'étages d'alignement, d'un équipement d'optique de projection et d'une source d'exposition. L'ordinateur central est composé d'une chambre étanche au vide, de bras d'alimentation et de rangement et d'étages de positionnement motorisés. La chambre étanche au vide protège l'étage contre l'exposition à la contamination atmosphérique qui peut affecter la précision et le rendement du dispositif d'exposition. À l'intérieur de la chambre se trouve la source d'exposition, composée d'une des deux sources d'éclairage, l'ozone ou l'ultraviolet profond. Le choix de la source d'exposition dépendra du type de masque d'exposition utilisé. Par exemple, on utilise un ultraviolet profond lorsque l'on utilise des masques d'exposition en quartz. Le système d'optique de projection de NSR-2005I8A se compose d'une série de lentilles et de miroirs qui fournissent les paramètres de grossissement et de focalisation nécessaires pour la couche d'appareil désirée. L'optique est optimisée pour fournir les niveaux de résolution les plus élevés et les tailles de fonctionnalités réalisables. Les AlignStages de NSR-2005 I8A utilisent des codeurs de précision et des servomoteurs pour diriger les étages dans le plan X, Y et θ. Ces corrections d'étape sont essentielles pour maintenir la précision de placement et les caractéristiques critiques dans l'alignement. NSR 2005I8A est conçu pour améliorer les rendements et la tolérance des dispositifs en fournissant le plus haut niveau de répétabilité et de précision. Ses caractéristiques comprennent une imagerie haute résolution, un débit efficace et une unité de contrôle de processus avancée pour maintenir un environnement stable pour les processus d'exposition sensibles. Avec sa machine d'alignement de vision automatisée, le stepper peut détecter et corriger les désalignements ainsi que surveiller l'uniformité du substrat pour s'assurer que les pièces de la plus haute qualité sont produites à chaque fois. Dans l'ensemble, NSR 2005 I 8 A wafer stepper est une pièce inestimable d'équipement de lithographie de pointe offrant grande vitesse, précision et répétabilité à l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil avancé est capable de créer les motifs les plus sophistiqués sur des substrats extrêmement minces et délicats qu'il serait autrement impossible de produire avec des méthodes traditionnelles.
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