Occasion NIKON NSR 2005 i8A #9351643 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i8A
ID: 9351643
Wafer stepper.
NIKON NSR 2005 i8A est un pas de tranche de haute précision conçu pour les procédés lithographiques avancés. Cette machine permet le développement de circuits intégrés haute densité et d'autres applications électroniques avancées. Il dispose d'un équipement avancé de mesure d'image pour l'inspection des plaquettes, le placement précis et l'alignement des étages de photomasques et de plaquettes, et un profil de faisceau amélioré pour une résolution et un contraste améliorés. Le système optique est constitué d'une unité optique catadioptrique en U haute précision et haute performance. Cette machine offre une grande profondeur de champ et une excellente résolution et contraste sur un large champ de vision. La plage de grossissement est 5x-90x avec une ouverture numérique maximale (NA) de 0,50. Le champ de vision est de 305mm, avec un pas de filière de ≤ 148 μ m et une inclinaison de ≤ 75 μ rad. Les performances de balayage de la machine sont encore optimisées avec un outil d'asservissement numérique à deux axes. Le contrôleur gère le balayage, l'enregistrement de la matrice et l'alignement de la matrice tout au long de l'opération pas à pas. L'actif peut positionner avec précision le placement et le balayage des éléments avec une résolution de 0,05 μ m/pixel. La machine est également équipée d'un modèle avancé de superposition Soft Scan. Cet équipement permet un alignement de superposition précis lors de l'exécution de processus de litho-gravure complexes. Le système peut enregistrer 1 masque de couche sur une ou plusieurs couches du substrat afin d'assurer une parfaite précision de recouvrement. NIKON NSR 2005I8A est conçu pour un fonctionnement continu 24/7 et une disponibilité garantie. L'unité est équipée d'un étage de plaquette ultra-haute précision pour assurer un mouvement précis et la stabilité de l'image. Sa machine de régulation de température maintient une température constante à travers l'outil, produisant une qualité d'image uniforme avec des résultats répétables à 0,1 μ m. La machine dispose également d'un actif de transport intégré de plaquettes qui facilite le chargement et le déchargement de lots de plaquettes. Cela fait de la machine un modèle efficace et automatisé, permettant des processus de fabrication rapides et précis. L'opérateur peut garder les yeux rivés sur son travail et apporter des corrections si nécessaire, grâce à l'intégration serrée de l'équipement de contrôle. En résumé, NSR-2005I8A est un pas de plaquette avancé qui fournit précision et précision tout en maintenant des performances de lithographie cohérentes. Il est conçu pour s'adapter à des processus de fabrication complexes tout en fournissant des résultats précis et reproductibles.
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