Occasion NIKON NSR 204B #293628542 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 204B
ID: 293628542
Stepper.
NIKON NSR 204B est un pas de plaquette fabriqué par NIKON Corporation, qui est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il a un pas de plaquette de 4 pouces avec des tailles de plaquettes de 3 pouces, 4 pouces, et 6 pouces. NIKON NSR-204B est conçu pour les procédés de production de semi-conducteurs, tels que la gravure, la lithographie, l'inspection et le balayage. NSR 204B est équipé d'une lentille de balayage circulaire de 20 millimètres qui permet l'exposition du film de résine photosensible sur toute la surface de la plaquette. NSR-204B a une précision dynamique de 60 nanomètres et un temps d'exposition est une exposition rapide d'une seconde seulement. Il dispose d'un équipement d'entraînement à double courant de Foucault, qui réduit les vibrations de balayage et fournit une réponse élevée aux vitesses et aux mouvements rapides de balayage. NIKON NSR 204B est conçu pour une répétabilité élevée, avec une zone de flou maximale de 2 microns. Il a une précision de motif de 6 microns, avec une surface plane pour assurer une grande précision de l'exposition de motif. Le NIKON NSR-204B possède également un revêtement antireflet à haut rendement pour minimiser la réflectance et la perte d'exposition due aux interférences. NSR 204B est équipé d'un système de balayage à fente motorisé qui offre une grande précision et stabilité pour l'exposition au balayage à fente. La précision d'exposition à la coupe est maintenue constante, quel que soit le type de motif formé par chevauchement de la plaquette vierge et de la plaquette d'exposition à la coupe. La vitesse de balayage en fente est de 1 micron par seconde, tandis que la vitesse d'exposition à la coupe est de 5 microns par seconde. NSR-204B est contrôlé avec une unité d'interface de données CNC NCU 2000, qui est capable de contrôler son processus d'exposition, les mouvements des plaquettes, la vitesse et le positionnement. Il dispose d'une machine d'autocontrôle qui permet d'identifier les éventuelles irrégularités de l'outil tout en surveillant la position et la vitesse de l'objectif de balayage, les paramètres d'exposition et les performances des actifs. NIKON NSR 204B est conçu pour un entretien facile et peut être rapidement remplacé. Toutes les pièces sont conçues pour une inspection et un entretien faciles. NIKON NSR-204B a également une fonction de sécurité qui empêche l'exposition des plaquettes lorsque la puissance est coupée de façon inattendue. Il a également une fonction d'auto-étalonnage pour la précision de l'exposition et pour le nettoyage par ultrasons des plaquettes.
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