Occasion ULTRATECH 1500 #9188727 à vendre en France

ULTRATECH 1500
Fabricant
ULTRATECH
Modèle
1500
ID: 9188727
Style Vintage: 1996
Stepper 1996 vintage.
ULTRATECH 1500 est un pas de plaquette haute performance qui offre des performances et une productivité d'imagerie supérieures. Cette machine automatisée est conçue pour la fabrication de dispositifs à circuit intégré (IC) sur plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'un équipement de motorisation intégré qui permet un contrôle précis du pas et du centrage de l'image. 1500 est capable de supporter différentes tailles de plaquettes allant de 6 à 12 pouces. Il est conçu pour fournir une fidélité d'image inverse supérieure à des niveaux faibles et élevés de puissance d'image. Grâce aux technologies de pointe utilisées, ULTRATECH 1500 peut atteindre un débit plus rapide et des performances optiques améliorées. 1500 se compose de deux composantes principales : une station d'imagerie et un étage de haute précision. La station d'imagerie contient un système de source et de projection, qui comprend une diode laser à onde continue, un amplificateur de faisceau de grande puissance, une lentille de projection à NA élevé et une unité autofocus. Cette machine d'imagerie est capable de fournir une résolution spatiale supérieure de 20 nm. L'étage de haute précision est responsable du positionnement précis de la plaquette pour assurer un alignement et une couverture d'image appropriés. L'ULTRATECH 1500 dispose également d'une caméra CCD avancée pour le positionnement précis de la plaquette, et d'un outil de commande de mouvement à deux axes qui permet un mouvement précis et répétable de l'étage de plaquette. Pour améliorer encore la stabilité et la répétabilité des processus, 1500 dispose d'un actif informatique intégré avec un logiciel qui permet aux utilisateurs de programmer des modèles d'exposition, des séquences d'images et des paramètres d'image. Le modèle d'imagerie dispose également d'un équipement intégré de métrologie pour l'inspection et l'analyse des plaquettes. ULTRATECH 1500 offre des performances exceptionnelles et est conçu pour répondre aux exigences élevées des fabricants d'IC. Avec sa conception robuste, son débit élevé et sa qualité d'image supérieure, il est bien adapté aux procédés avancés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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