Occasion ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301379 à vendre en France

ID: 9301379
Slice resistivity gage.
ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est capable de produire des mesures très précises qui sont essentielles aux processus de fabrication des plaquettes dans les installations semi-conductrices. Le système dispose d'une architecture die-to-database qui permet une comparaison directe des résultats de mesure avec les photomasques de référence et divers noeuds de processus semi-conducteurs. Cela garantit que le processus de fabrication des plaquettes est maintenu aux normes les plus élevées de précision. ADE MicRhoSense 6035 intègre plusieurs éléments de conception pour assurer la précision, y compris une fonction avancée de reconnaissance des motifs et un seuil automatisé. Cette reconnaissance de motif utilise des algorithmes propriétaires pour déterminer le type de défaut présent, tel qu'un court-circuit ou un circuit ouvert, puis définir la position du défaut par rapport au photomasque de référence. Cela permet à l'unité de mesurer avec précision les paramètres d'un défaut donné, comme la hauteur ou la surface, et d'effectuer divers types d'analyse de défaut. KLA MicRhoSense 6035 dispose également d'une machine d'alignement spécialisée. Cet outil utilise une optique de haute précision et des étages de mouvement et de rotation précis pour assurer un positionnement exact de la plaquette par rapport au photomasque de référence. Ceci permet d'effectuer des mesures précises avec une précision répétable. En outre, l'actif dispose de métrologie laser à très courte longueur d'onde pour des mesures de haute précision de dimensions critiques. Ceci est essentiel pour évaluer le rendement et la répétabilité de la production de plaquettes. MicRhoSense 6035 utilise plusieurs modes d'inspection pour assurer une précision maximale des résultats. Il s'agit notamment de la cartographie du contour, de la détection et de l'isolement des défauts, de la cartographie des plaquettes et de l'analyse des défauts de classe. Ces modes sont implémentés dans des algorithmes logiciels capables d'effectuer des mesures beaucoup plus précises qu'avec des systèmes d'inspection classiques. Enfin, TENCOR MicRhoSense 6035 dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet une configuration et un étalonnage rapides et faciles du modèle. De plus, l'équipement a accès à une bibliothèque étendue de paramètres de configuration qui peuvent être personnalisés au besoin pour un fabricant donné. Cela permet aux utilisateurs de maximiser la précision et de minimiser le temps de configuration. Toutes ces caractéristiques se combinent pour fournir un système complet de test et de métrologie des plaquettes capable de gérer les processus de fabrication des semi-conducteurs les plus exigeants.
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