Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9171311 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I
ID: 9171311
Patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes créé par KLA et TENCOR. KLA AIT I est un système automatisé d'inspection et d'essai (AIT) conçu pour aligner et mesurer les images des plaquettes afin d'assurer la répétabilité et la précision lors de la mesure de petites structures et modèles sur les plaquettes semi-conductrices. TENCOR AIT I comprend un microscope Autoscope et une plate-forme d'imagerie intégrée équipée d'une caméra CCD et d'une table de scanner xyz. Le microscope offre une imagerie haute résolution et une large gamme de paramètres d'équilibre et de résolution pour optimiser une variété de types de plaquettes. La plate-forme d'imagerie intégrée comprend des algorithmes de segmentation, de reconnaissance de motifs et de génération de motifs, permettant aux utilisateurs de générer facilement des fichiers de motifs et de mesurer les caractéristiques des plaquettes. L'unité utilise une machine de balayage à deux axes pour contrôler la vitesse de balayage et assurer un alignement précis des plaquettes. L'outil à deux axes communique avec le microscope automatisé pour compléter le processus automatisé d'inspection des plaquettes. L'actif peut être configuré pour scanner X-Y coordonnées positions sur la plaquette jusqu'à la longueur maximale de balayage de 8 pouces, lui permettant de mesurer de grandes zones de la plaquette. AIT I utilise des artefacts optiques TOK pour assurer la précision et la répétabilité des mesures. Les artefacts optiques de précision sont identiques en taille et en forme et servent à référencer les objectifs du microscope et à étalonner le champ de vision par rapport aux paramètres nominaux du microscope. Les artefacts optiques permettent également au modèle de mesurer avec précision et de façon répétée une large gamme de tailles à différents endroits de la plaquette, garantissant ainsi des mesures précises et fiables de la plaquette. PROMETRIX AIT I comprend une bibliothèque de stratégies de mesure préprogrammées qui peuvent être utilisées pour configurer et contrôler rapidement le logiciel d'inspection. Les stratégies couvrent un large éventail de types d'inspection, y compris les dimensions critiques (CD), les longueurs de lignes ou les loupes. En outre, KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I offre une excellente résolution d'image et des niveaux de contraste pour aider à obtenir des résultats reproductibles et fiables pour des mesures optiques complexes. Dans l'ensemble, KLA AIT I est un équipement d'essai et de métrologie précis et fiable avec des solutions logicielles et matérielles intégrées qui permettent aux utilisateurs d'obtenir des mesures précises et de maximiser le rendement pour les plaquettes semi-conductrices. Avec son système de balayage à deux axes polyvalent, ses stratégies de mesure préprogrammées et ses artefacts optiques de précision, TENCOR AIT I offre une solution tout-en-un pour des tests de plaquettes efficaces et fiables.
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