Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9243618 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA
ID: 9243618
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA wafer testing and metrology equipment est un outil fiable et puissant pour analyser les paramètres de processus des matériaux semi-conducteurs. Le système est construit sur une plate-forme modulaire avec des algorithmes logiciels et une architecture logicielle nouvellement conçus. Cette plate-forme permet une acquisition et une analyse plus rapides des données afin d'accélérer les décisions et le redressement. L'unité peut manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et a une résolution de travail jusqu'à 6000 x 6000 pixels. La machine est également capable de tester diverses couches métalliques, couches d'oxyde et couches de silicium polycristallin. L'outil est équipé de plusieurs composants clés, tels qu'un certain nombre d'illuminateurs externes de champ LED disposés dans un mouvement de balayage, une caméra CCD couleur in-situ qui capture des images dans un seul instantané, un processeur de signal haute vitesse pour traiter des images numériques, et un moteur pas à pas haute résolution qui ajuste la hauteur de l'échantillon. De plus, l'actif comprend un manipulateur de précision et une sonde pour tester les structures sur les plaquettes. Ces composants sont intégrés dans un modèle en boucle fermée hautement optimisé qui permet de cartographier avec précision les structures sur la plaquette. Non seulement l'équipement peut caractériser avec précision les paramètres de processus de la plaquette, mais le système peut également effectuer des inspections des défauts de surface du substrat. Il est équipé de modules de vision haute résolution qui capturent des images de défauts sur la surface de la plaquette. L'unité peut alors identifier et mesurer avec précision tout défaut sur la surface du substrat, tel que piqûres, trous de pinces, saillies et rayures. La machine est également capable de manipuler différents types de substrats de test avec une topographie différente. Par exemple, l'outil peut détecter la différence de topologie de surface et identifier avec précision toutes les caractéristiques telles que des marches, des bords de puits et d'autres structures à la surface du substrat. De plus, l'actif est également capable d'effectuer une mesure rapide de l'homogénéité des couches sur des substrats très structurés. Le modèle peut mesurer avec précision l'uniformité de l'épaisseur, la rugosité de la surface et la contamination. En résumé, le matériel de test et de métrologie KLA Omnimap RS-35CA est un outil avancé et efficace pour mesurer et inspecter les matériaux semi-conducteurs. Ses composants intégrés, tels qu'une caméra CCD couleur in situ, un processeur d'image numérique, un moteur pas à pas, un manipulateur de précision et une sonde, permettent au système de mesurer et d'inspecter avec précision les caractéristiques des plaquettes et d'identifier les défauts. Ainsi, l'unité est un outil inestimable pour l'industrie des semi-conducteurs.
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