Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9223611 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 est une station humide spécialement conçue pour les applications de traitement par lots et monobloc. Cet équipement est spécialement conçu pour le traitement chimique par voie humide comme les gravures, les dépôts plus minces, le nettoyage des solvants, le polissage mécanique chimique (CMP) et le traitement chimique par voie humide. TEL UW-8000 est un système flexible qui peut traiter à la fois des plaquettes simples et le traitement par lots d'un maximum de 200 plaquettes. Il est équipé de deux modules de processus qui se composent chacun de quatre cellules de processus individuelles, toutes isolées. En tant que telle, cette unité est capable de manipuler à la fois une seule plaquette et le traitement par lots sans nécessiter d'accessoires supplémentaires. Les cellules de processus disposent de portes coulissantes ouvertes pour faciliter l'accès et le chargement/déchargement des plaquettes individuelles. Le réglage et le contrôle des recettes de processus peuvent être facilement effectués en utilisant l'écran tactile facile à utiliser. Il est également livré avec un éditeur de recettes intuitif/machine de gestion pour s'assurer que tous les paramètres sont correctement réglés et enregistrés. L'outil intégré de gestion de l'alarme permet de s'assurer que la qualité des plaquettes est maintenue en entourant l'environnement avec l'attention nécessaire de l'opérateur pendant les opérations. La conception de la chambre assure également un processus de plaquette uniforme à chaque instant, tout en assurant un contrôle supérieur de la température et de l'humidité. La chambre est équipée d'un dispositif d'échappement multi-zones pour contrôler la température et l'humidité de la chambre. Il dispose également d'une technologie d'écoulement conforme qui permet un écoulement précis tout en maintenant un environnement uniforme. Afin de maintenir l'uniformité, le modèle TOKYO ELECTRON UW 8000 dispose également d'un moniteur de contamination in situ qui mesure en temps réel la quantité de particules contaminées par l'air. L'équipement TEL UW 8000 est un système unique, soigneusement conçu, qui fournit des résultats constants de haute qualité à chaque fois. Avec ses multiples cellules de processus, unité d'automatisation simple et machine de gestion d'alarme ; cet outil permet un traitement chimique par voie humide précis et reproductible dans n'importe quel environnement.