Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9134876 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz est un équipement d'exposition sans contact pour photorésistants. Il s'agit d'un système entièrement intégré et automatisé, combinant les processus d'exposition, d'alignement, d'enregistrement des données et de traitement des plaquettes. L'unité fournit un débit élevé et est conçue pour produire des microstructures complexes et très détaillées, telles que des photomasques ultraviolets extrêmes (EUV) pour la lithographie. TEL MARK-VZ est équipé d'une machine de projection laser. Il utilise un laser multi-spots ultra-haute densité, haute bande passante pour obtenir une exposition précise à haute vitesse. L'outil de projection permet l'exposition de grands diamètres de plaquettes avec haute résolution et uniformité. En outre, il dispose d'un mode Variable Spot Size unique et très précis qui permet de faire varier la taille du faisceau laser pendant la projection afin d'optimiser les performances. Cet actif supporte une grande variété de photomasques, y compris des masques opaques, transmissifs et diffractifs, et peut produire un large éventail de structures, de petits à grands motifs. Le modèle est également équipé d'un étage de plaquette pour le positionnement et l'orientation. L'étage de plaquettes utilise un équipement à double axe, d'alignement et de rotation de haute précision pour le chargement, l'alignement et l'exposition des plaquettes. Le système est capable de scanner le bord de la plaquette et de pré-aligner la plaquette avant l'exposition. La précision de l'appareil et la rotation à grande vitesse assurent une exposition précise et précise. L'exposition au laser sans contact de TOKYO ELECTRON MARK V-Z maximise le débit de la machine, et l'outil intégré de manutention et de balayage des plaquettes permet de réduire les dommages et la contamination des plaquettes. De plus, l'actif dispose d'un modèle intégré d'enregistrement des données qui suit l'historique d'exposition de chaque plaquette. Ces données peuvent être utilisées à des fins de contrôle de la qualité et d'assurance de la qualité. TEL MARK Vz est un excellent choix lorsqu'un équipement d'exposition fiable et de haute précision est nécessaire pour les photorésistants. Il est capable de produire des microstructures complexes et très détaillées avec une distorsion minimale. En outre, il est réglable, fonctionne efficacement et donne des résultats cohérents. TEL MARK V-Z est conçu pour la production industrielle de photomasques et répond aux besoins des applications les plus exigeantes.