Occasion ASM A 412 #9137395 à vendre en France

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ID: 9137395
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12" P/N: 2E0082-06-01 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300 Nitride furnace (2) Ports Protocol zone: FEOL SMIF Handler Chamber 2011 vintage.
ASM A 412 est un four de diffusion utilisé pour des applications industrielles comme la production de semi-conducteurs. C'est un four vertical de 400 mm avec une conception multi-zones pour une production flexible et un débit plus élevé. Le four dispose également de technologies d'économie d'énergie et d'une meilleure homogénéité thermique. La plage de température du four est de 250 ° C à 1250 ° C et les éléments chauffants sont en alliage à haute température. Le four est également équipé d'une automatisation complète pour la répétabilité des processus et un fonctionnement fiable. Les principales parties de l'ASM A412 sont la plaque de lit, les systèmes d'entrée et de sortie, le corps, le couvercle et l'alimentation des éléments chauffants. La plaque de lit est la base du four et est en alliage d'aluminium de haute qualité pour une durabilité maximale. Les systèmes d'entrée et de sortie sont conçus pour une homogénéité maximale du chauffage du substrat. Le corps du four est à double paroi avec une isolation thermique en fibres céramiques et un panneau extérieur en acier inoxydable. Le couvercle est en acier inoxydable et dispose d'une enceinte étanche avec deux ouvertures de vue et une poignée de levage renforcée. L'élément chauffant pour A 412 est constitué de tiges de carbure de silicium enrobées de poudre. Les éléments utilisent une alimentation en courant continu basse tension qui est réglable et stable pour un contrôle précis. Les alimentations sont protégées contre les surtensions de tension et de courant avec une régulation de sécurité intégrée et peuvent être commandées à distance. A412 est livré avec divers accessoires pour aider à automatiser le processus. Les accessoires comprennent un régulateur de débit massique intégré pour le contrôle des gaz inertes, un relais de temporisation pour le contrôle de l'alimentation en courant alternatif des éléments chauffants et un pyromètre pour le contrôle de la température du processus. Le four dispose également d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui peut être utilisé pour automatiser les paramètres du processus, calculer la concentration d'hydrogène, surveiller la pression et contrôler la température du bain de plomb/étain. ASM A 412 est un four de diffusion très fiable et efficace qui est bien adapté à une variété d'applications et de procédés industriels. Avec ses fonctionnalités avancées, sa conception conviviale et ses composants de qualité, ASM A412 fournit des résultats précis et reproductibles en production.
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