Occasion ASM A 412 #9176794 à vendre en France

L'ASM A 412 est un four de diffusion et des accessoires conçus pour les matériaux de niveau wafer haute performance. Elle convient notamment pour des applications nécessitant un dépôt rapide de couches minces, telles que des supraconducteurs à haute température, des dispositifs MEMS, des capteurs MEMS et des transistors à couches minces. L'équipement a une température maximale de 1350 ° C, permettant un traitement à haute température. Il est facile à configurer, avec une variété d'options pour les hottes de four, les matériaux de source, et les ampoules. Le four ASM A412 est monté sur un support comprenant un chariot roulant portable ou un support mural compact. Il dispose d'une variété de dispositifs de sécurité automatisés, y compris un système d'alarme et d'arrêt automatisé si la température du four tombe hors de portée. Le four est protégé par un capot en acier inoxydable, qui permet un contrôle précis de l'atmosphère et empêche les fuites de gaz. L'unité peut être programmée pour contrôler la pression atmosphérique, avec jusqu'à sept points de réglage indépendants, et la machine intègre également un ensemble de fonctions de diagnostic pour faciliter le dépannage et l'entretien. Le four peut être personnalisé avec plusieurs accessoires. Il s'agit notamment des porte-plaquettes multi-segments, des porte-ampoules et des porte-ampoules, et des matériaux de spécialité. Un muffle en carbure de silicium permet un traitement thermique rapide des plaquettes, avec une vitesse de chauffage réglable allant jusqu'à 50 ° C/sec. L'outil comprend un injecteur à atmosphère diatomique, qui permet un contrôle précis du débit de gaz. Cela permet un chauffage et un refroidissement rapides des plaquettes. Le four comprend également divers équipements auxiliaires, tels qu'un actif thermocouple, des manomètres électroniques et une pompe à vide. Le modèle de thermocouple intégré permet un contrôle précis de l'échappement des fumées, et peut être utilisé pour contrôler la température du four et des plaquettes. Les manomètres permettent un contrôle précis de la pression d'atmosphère pour différentes étapes de traitement et la pompe à vide permet le maintien d'un vide élevé dans la chambre. En résumé, un four de diffusion A 412 et ses accessoires sont conçus pour le dépôt efficace et sûr de matériaux de niveau de plaquette. L'équipement comprend une large gamme de dispositifs de sécurité automatisés, une pression d'atmosphère réglable et une gamme d'équipements auxiliaires pour simplifier et optimiser le traitement thermique des plaquettes.