Occasion ASM A 412 #9185404 à vendre en France

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ASM A 412
Vendu
Fours de diffusion et accessoires
Fabricant
ASM
Modèle
A 412
ID: 9185404
Taille de la plaquette: 12"
Vertical furnaces, 12" Dual reactors cure VDF: CU, PI WIP Module: Part number / Description 2945169-01 / Main frame WIP assembly 2379589-01 / Elevator chr 2947641-01 / Cassette stacker carousel 2944170-01 / Cassette transfer module 2947692-01 / Load port 2403641-01 / Pneumatic box 2947617-01 / WIP Flow box Reactor module (Base model info): Part number / Description 2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly 2916177-01 / Reactor A412 top frame 2931303-01 / Reactor servo drive 2370387-01 / Reactor EMO / Motion 2931257-01 / BTC Box 2373718-01 / WTC Box 2909251-01 / R1 / R2 Controllers 2936550-01 / Reactor touchscreen 2327287-01 / Carousel bearing 2329999-01 / Carousel housing 2931222-01 / Carousel drive 2931109-01 / Reactor carousel 2379872-01 / Reactor fan 2936739-01 / A412 Gate valve 2997320-01 / Boat elevator A412 2972786-01 / Loader arm LP ROT 2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN 2366460-01 / N2 Purge generic 2330768-01 / TCU / TCF Generic 2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412 Miscellaneous: Part number / Description 2895587-01 / (2) End effectors 242 CER 2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly 2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC 2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC 2888025-01 / Transponder 2356341-01 / Press sens WHR single 2356333-01 / Press sens RC car Reactor chambers 1-2: Part number / Description 2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit 2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit 2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS 2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm 2805847-01 / Thermocouples ATM BC 2954664-01 / Mount block FLG'S 2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK 2806096-01 / ATM Scavenger purge 2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit 2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2 2996235-01 / Klixon heater element 2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT 2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V 2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412 2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V 2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2 2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2 2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300 2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2 2332108-01 / Pump TCU 2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
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ASM A 412 est un outil de traitement thermique avancé conçu pour uniformiser les substrats de diffusion thermique et les composants connexes. Il peut traiter des substrats jusqu'à six pouces de diamètre avec un gradient thermique impressionnant de ± 3 ° C La chaleur est générée par des éléments chauffants tubulaires à longue durée de vie qui sont actionnés par des systèmes indépendants de contrôle de l'énergie. L'unité est équipée de fonctions de traitement thermique telles que le chauffage prétraité, le trempage uniforme, le chauffage suivant la courbe et le contrôle de la vitesse de refroidissement. Cet équipement présente une coupure sous vide, permettant d'évacuer le four pour évacuer l'air ou d'autres gaz de la surface du substrat avant diffusion. Le processus de diffusion se produit lorsque les éléments chauffants sont alimentés, ce qui porte la température du four à une consigne requise. Le substrat est ensuite placé dans la zone chaude pour accélérer le processus de diffusion. L'unité dispose d'une conception de chargement vertical qui offre un accès rapide et facile au substrat ainsi qu'un gradient de température uniforme dans tout le four. Il dispose également d'un système de refroidissement de l'air intégré à la chambre de chauffage, ce qui contribue à réduire considérablement le temps de diffusion. En outre, l'unité comprend un chauffage au graphite avancé, qui aide à maintenir l'uniformité de température requise. Afin d'assurer des niveaux de sécurité optimaux, l'appareil dispose également d'un interrupteur d'urgence. La machine de diffusion ASM A412 est un outil facile à utiliser et fiable qui peut être utilisé pour une grande variété de procédures de diffusion. Sa flexibilité en fait un excellent choix pour ceux qui ont besoin d'un actif de traitement thermique rapide, fiable et performant. Sa combinaison de fonctionnalités assure de grands résultats, ce qui en fait un excellent choix pour les professionnels du traitement de diffusion.
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